无锡冠亚恒温
KSD、KSDR 系列划分两款标准化载台尺寸：7575mm、120120mm，对应不同尺寸芯片、批量测试产能需求，载台尺寸直接决定单次可放置样品规格、整体热负载上限。本文解读两款载台参数、机型匹配与选型标准。
一、确认控温对象
| 控温对象 | 重点参考方向 |
| 小型单颗裸片、小封装 IC | 75*75mm 紧凑型载台单次测试 |
| 多颗并排批量芯片试样 | 120*120mm 大载台同步验证 |
| 大面积晶圆测试片 | 120*120mm 大规格载台适配 |
| 分立元器件、小型模组 | 75*75mm 常规研发单次实验 |
| 多芯片并联老化工装 | 大载台提升测试批量 |
二、确认应用工艺流程
实验室研发、单批次少量样品验证，选用 7575mm 载台机型即可；量产可靠性测试、多片晶圆同步实验，优先 120120mm 大载台规格。大载台整体热容量更高，对应机型制冷、加热功率同步提升，保障升降温速率不衰减。
三、核对核心技术参数
- 两款标准载台平面尺寸：7575mm、120120mm；
- 载台材质高导热、耐 – 75℃~+200℃宽温区；
- 载台配套 Plunger 多点接触测温布局；
- 对应机型匹配的制冷、加热功率档位；
- Z 轴气动施压适配两种载台尺寸。
四、匹配对应机型
| 载台规格 | 适配设备型号 | 负载能力定位 |
| 75*75mm | KSD-705-A、KSD-705-B、KSDR-705-B | 中小样品、研发单批次实验 |
| 120*120mm | KSD-710、KSDR-710 | 大尺寸样品、批量同步测试 |
五、载台规格选型注意事项
- 样品zui大外形尺寸不得超过载台有效测试区域；
- 多片同步测试优先选择 120*120mm 载台，提升实验效率；
- 大载台机型热容量更大，不可用小冷量低配设备替代；
- 载台表面保持平整洁净，保证芯片与台面导热贴合。
六、常见问题 FAQ
- 75*75mm 载台机型可以加装更大载台吗？ 设备内部冷热换热结构匹配固定规格，无法后期更换载台尺寸。
- 两款载台的 Plunger 测温结构通用吗？ 测温探头结构一致，仅台面摆放空间存在区分。
- 大载台 120*120mm 机型升降温性能会变差吗？ 对应机型提升制冷加热功率，标称 75℃/min 速率不受影响。
- 同一台设备能否交替测试不同尺寸芯片？ 在载台尺寸范围内的样品均可直接放置测试。
