DI纯水Chiller

DI纯水Chiller在半导体工艺中的应用说明

摘要 DI纯水Chiller是一类用于去离子水温度控制的半导体温控设备，可用于晶圆清洗、工艺冷却、设备辅助控温、外部换热和测试平台等场景。与普通水冷设备相比，DI纯水Chiller更关注水质管理、材料兼容性、循环洁净...