ETCU无压缩机换热设备

ETCU无压缩机换热设备在半导体温控中的应用

摘要 ETCU无压缩机换热设备是一类依靠外部冷源或厂务换热条件实现温度调节的半导体温控设备。与带压缩机的Chiller不同，ETCU通常不独立产生制冷量，而是通过换热器、循环泵和控制系统，将外部冷源传递至工艺端。...