循环冷水机

半导体刻蚀冷水机etch chiller机系统在制冷循环稳定性及智能温控策略

在半导体刻蚀工艺中，刻蚀冷水机etch chiller作为关键温控设备之一，其稳定运行会影响刻蚀精度与产品良率。从设备工作原理来看，刻蚀冷水机etch chiller通过循环液的温度调控，为刻蚀反应提供稳定的温度环境。 ...