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Chiller换热型 系统无压缩机

Chiller换热型 系统无压缩机

应用:
原理:CHILLER 是通过换热器,将厂务水与载冷介质进行换热,循环泵驱动载冷介质循环,并且同时实现精准控温功能,适用于光刻机、薄膜沉积设备、离子注入机等领域加热冷却。
核心技术与优势:
1.加热冷却一体化设备:设备结构简单,应用换热器即可实现连续升降温,5-90℃温度范围快速加热冷却。
2.精准控温:采用PID算法或PLC控制,实现温度波动≤±0.05℃,适用于精密制造场景。
3.多场景适配:支持纯水、乙二醇、导热油等不同介质使用。

chiller 的排吸气温度(压力)、冷凝温度、冷却水温度(压力)、进出液体(气体)温度(压力)、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录。

40℃以内加热方式采用压缩机热气加热。chiller 循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵。Chiller 100%氦检测,100%安规检测,确保系统安全可靠。chiller 100%经过24小时连续运行拷机。

冷凝器 微通道换热器(风冷)板式换热器(水冷);蒸发器:板式换热器;节流装置:电子膨胀阀;控制系统:PLC可编程控制器

通讯:RS485接口Modbus RTU协议,以太网接口 TCP/IP协议

操作界面:无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示\EXCEL 数据导出

循环系统:整个系统为全密闭系统,低温不吸收空气中水份,不挥发导热介质,低温自动补充导热介质进入循环系统。

外壳材质:冷轧板喷塑RAL7035;管路内部含:不锈钢SUS304、铜、陶瓷、碳化硅、硅酮密封胶、PTFE

CHUILLR无压缩机换热型系列
型号ETCU-005WETCU-015WETCU-030WETCU-050WETCU-100WETCU-200WETCU-300W
设定温度范围冷却水温度+5℃~90℃
运行条件载冷剂出口温度冷却水温度+5℃
冷却水温度7℃~30℃
载冷剂额定流量15LPM40LPM60LPM110LPM200LPM400LPM600LPM
冷却水额定流量0.9m³/h1.5m³/h3.6m³/h6.4m³/h13.4m³/h27.4m³/h41.4m³/h
储罐容积10L10L15L30L60L120L240L
冷却能力5kW15kW30kW60kW100kW200kW300kW
加热功率(选配)1kW3kW6kW12kW20kW40kW60kW
控温精度±1℃(可选配电加热定制±0.1℃)
控制模式循环液出口温度控制
工件负载温度控制(选配)
工艺工程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度(动态控温)
流量压力MAX15LPM@3bar40LPM@3bar60LPM@3bar110LPM@2.5bar200LPM@2.5bar400LPM@2bar600LPM@2bar
操作面板7寸彩色触摸屏显示设定温度和测量温度,记录温度曲线,数据导出采用excel格式
10寸彩色触摸屏显示设定温度和测量温度,记录温度曲线,数据导出采用excel格式
安全防护具有自我诊断功能;循环泵过载保护;介质出口高压保护,过欠压、过流保护、低液位保护、热保护装置等多种安全保障功能。
载冷剂去离子水,乙二醇水溶液,氟化液
载冷剂接口尺寸Rc1/2Rc1/2Rc3/4Rc1 1/4Rc2DN65DN80
冷却水接口尺寸Rc1/2Rc3/4Rc1Rc1  1/4Rc2DN65DN80
电源380 VAC ± 10%,三相(可定制)/220 VAC ± 10%,三相(可定制)
总用电功率(max)1kW3kW4kW5kW6kW8kW10kW
含电加热总功率(max)6kW6kW10kW17kW26kW48kW70kW
外壳材质冷轧板喷塑 (RAL7035)
通信协议支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERCAT、LONWORKS等。
水冷外形尺寸cm40*80*8045*85*8550*90*10560*120*15060*130*16065*135*16070*180*160
非标定制配杂质过滤器或离子交换树脂过滤器
带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能

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