超纯水温控Chiller

应用：
Chiller是由紧密耦合的制冷循环与介质循环两大核心系统构成，通过两个循环通道间的介质高效换热，实现对目标设备的精准、稳定温度控制。
原理：制冷剂在系统中循环，通过压缩、冷凝、节流和蒸发四个过程实现制冷；同时，载冷剂（介质）在独立的循环管路中流动，通过板换换热器将冷量持续输送给目标设备，并循环使用。
核心技术与优势：
1、洁净度高：内置过滤器能有效防止水垢生成，从源头降低游离离子污染，保护冷却系统核心部件，显著提升运行效率；同时降低冷却水电导率，防止电流泄漏，避免对精密电子元件或加工过程造成电化学干扰。
2、控温精准：采用智能算法，实现系统动态温度快速响应、控制精度±0.1℃（可选配±0.01℃），具有良好的温度跟随性。
3、节约能耗:采用压缩机、泵变频自适应调节、软启动和余热回收技术，实现系统的高效节能。
4、适用场景：该chiller可替代氟利昂清洗，广泛适用于半导体晶圆、光伏电池、液晶面板及锂电池生产中的温纯水精密清洗。