单通道系列Chiler

2025/07/24 Chiller高精度冷热循环器 815

适用范围

原理：CHILLER单通道变频设备集成单级蒸汽压缩制冷系统与循环介质系统，进行制冷加热，并且同时实现精准控温功能，为用户提供相温度的冷却介质，适用于刻蚀、光刻机、涂胶显影设备等设备领域制冷加热控温。

核心技术与优势：
1.高效节能：设备可通过内置变频器根据用户冷热负荷自动调节泵及压缩机频率，保证机组运行状态稳定适配末端负载情况，避免压缩机与电加热满负荷对抗，达到节能效果。

2.精准控温：采用PID算法或PLC控制，实现温度波动≤±0.1℃，适用于精密制造场景。
3.多场景适配：支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介质使用（采用去离子水可满足微电子领域用户冷媒介质低导电率需求)。

FLTZ 5℃～40℃

型号	FLTZ-001 FLTZ-001W	FLTZ-002 FLTZ-002W	FLTZ-003 FLTZ-003W	FLTZ-004 FLTZ-004W	FLTZ-006 FLTZ-006W	FLTZ-008 FLTZ-008W	FLTZ-010 FLTZ-010W	FLTZ-015 FLTZ-015W
温度范围	5℃～40℃(可扩展到90℃)
控制模式	循环液出口温度控制
控制模式	工件负载温度控制（选配）
出口控温精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
工艺工程温度控制	可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
制冷量@20℃	2.5kW	6kW	9kW	10kW	15kW	20kW	25kW	38kW
加热能力	0.5kW	1kW	1.5kW	2kW	3kW	4kW	5.5kW	7.5kW
介质类型	氟化液、乙二醇水溶液或DI水等
制冷剂类型	R404A、R410A或R448A
介质流量压力	15LPM@3bar	15LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@5bar	30LPM@5bar	30LPM@5bar
介质接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
冷却水	0.6m³/h@23℃	1.1m³/h@23℃	1.6m³/h@23℃	2.2m³/h@23℃	3.3m³/h@23℃	4.4m³/h@23℃	5.5m³/h@23℃	8m³/h@23℃
冷却水接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc1	Rc1 1/4
膨胀罐容积	10L	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
流量控制	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM
流量显示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	7寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保护
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	220 VAC ± 10%，单相(可定制)/220 VAC ± 10%，三相(可定制)		380 VAC ± 10%，三相(可定制)/220 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率（max）	2.5kW	4.5kW	6kW	7kW	11kW	15kW	18.5kW	25kW
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	4090100	48100115	48100115	50108130	50108140	80100165	90110165	100120165
非标定制	带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认证

FLTZ -25℃～+90℃

型号	FLTZ-202 FLTZ-202W	FLTZ-203 FLTZ-203W	FLTZ-204 FLTZ-204W	FLTZ-206 FLTZ-206W	FLTZ-208 FLTZ-208W	FLTZ-210 FLTZ-210W	FLTZ-215 FLTZ-215W
温度范围	-25℃～90℃
控制模式	循环液出口温度控制
控制模式	工件负载温度控制（选配）
出口控温精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
工艺工程温度控制	可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
制冷量@-15℃	1kW	2kW	2.5kW	4kW	6kW	8kW	12kW
制冷量@-20℃	0.8kW	1.5kW	2kW	3.5kW	5kW	6.5kW	10kW
加热能力	1.5kW	1.5kW	2kW	3kW	4kW	5.5kW	7.5kW
介质类型	氟化液、乙二醇水溶液
制冷剂类型	R404A
介质流量压力	15LPM@3bar	15LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@5bar	30LPM@5bar
介质接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4
冷却水	1.1m³/h@23℃	1.6m³/h@23℃	2.2m³/h@23℃	3.3m³/h@23℃	4.4m³/h@23℃	5.5m³/h@23℃	8m³/h@23℃
冷却水接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc1	Rc1 1/4
膨胀罐容积	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
流量控制	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM
流量显示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	7寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保护
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	380 VAC ± 10%，三相/220 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率(max)	4.5kW	6kW	7kW	11kW	15kW	18.5kW	25kW
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	48100115	48100115	50108130	50108140	80100165	90110165	100120175
非标定制	带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认证

FLTZ -40℃～+90℃

型号	FLTZ-402 FLTZ-402W	FLTZ-403 FLTZ-403W	FLTZ-404 FLTZ-404W	FLTZ-406 FLTZ-406W	FLTZ-408 FLTZ-408W	FLTZ-410 FLTZ-410W	FLTZ-415 FLTZ-415W
温度范围	-40℃～90℃
控制模式	循环液出口温度控制
控制模式	工件负载温度控制（选配）
出口控温精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
工艺工程温度控制	可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
制冷量@-10℃	1.5kW	3kW	3.2kW	5kW	7kW	9kW	13kW
制冷量@-30℃	0.6kW	1kW	1.3kW	2kW	2.8kW	4kW	5.5kW
加热能力	1kW	1.5kW	2kW	3kW	4kW	5.5kW	7.5kW
介质类型	氟化液、乙二醇水溶液
制冷剂类型	R404A
介质流量压力	15LPM@3bar	15LPM@3bar	25LPM@3bar	25LPM@3bar	25LPM@3bar	30LPM@5bar	30LPM@5bar
介质接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4
冷却水	1.1m³/h@23℃	1.6m³/h@23℃	2.2m³/h@23℃	3.3m³/h@23℃	4.4m³/h@23℃	5.5m³/h@23℃	8m³/h@23℃
冷却水接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc1	Rc1 1/4
膨胀罐容积	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
流量控制	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM
流量显示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	7寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保护
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	380 VAC ± 10%，三相/220 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率（max）	4.5kW	6kW	7kW	11kW	15kW	18.5kW	25kW
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	48100115	50108140	50108140	50108150	80100165	90110165	100120175
非标定制	带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认证

FLTZ -80℃～+50℃

型号	FLTZ-803 FLTZ-803W	FLTZ-805 FLTZ-805W	FLTZ-806 FLTZ-806W	FLTZ-808W	FLTZ-8010W	FLTZ-8015W	FLTZ-8025W
温度范围	-80℃～50℃(可扩展到100℃)
控制模式	循环液出口温度控制
控制模式	工件负载温度控制（选配）
出口控温精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
工艺工程温度控制	可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
制冷量@25℃	3kW	4.5kW	5kW	6.5kW	9kW	14kW	25kW
制冷量@-55℃	1kW	2.5kW	2.8kW	3.2kW	4.8kW	7.5kW	10.2kW
制冷量@-70℃	0.6kW	1.2kW	1.5kW	2kW	2.8kW	5.5kW	8kW
加热能力	1.5kW	2.5kW	3kW	4kW	5.5kW	7.5kW	11kW
制冷剂类型	R404A/R508B
介质类型	氟化液
介质流量压力	15LPM@3bar	20LPM@3bar	25LPM@3bar	35LPM@5bar	35LPM@5bar	35LPM@5bar	35LPM@5bar
介质接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
冷却水	2m³/h@23℃	3m³/h@23℃	3.6m³/h@23℃	4.8m³/h@23℃	7m³/h@23℃	10m³/h@23℃	15m³/h@23℃
冷却水接口	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1 1/4	Rc2
膨胀罐容积	15L	15L	15L	30L	30L	40L	40L
流量控制	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~30LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM
流量显示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	7寸彩色触摸屏			10寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保护
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	380 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率（max）	8.5kW	12.5kW	16kW	22kW	27.5kW	38kW	60kW
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	6590165	7095175	7095175	80120185	80120185	100130185	120160195
非标定制	带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认证

FLTZ -100℃～+90℃

型号	FLTZ-1002W	FLTZ-1004W	FLTZ-1006W
温度范围	-100℃～90℃（(可扩展到100℃)）
控制模式	循环液出口温度控制
控制模式	工件负载温度控制（选配）
出口控温精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
工艺工程温度控制	可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
制冷量@-90℃	1.5kW	3kW	6kW
加热能力	3.5kW	5.5kW	15kW
介质类型	氟化液
制冷剂类型	混合冷媒
介质流量压力	30LPM@6bar	30LPM@6bar	30LPM@6bar
介质接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
冷却水	6.6m³/h	10m³/h	18m³/h
冷却水接口	Rc1	Rc1 1/2	Rc2
膨胀罐容积	30L	30L	40L
流量控制	20LPM~40LPM	20LPM~40LPM	20LPM~40LPM
流量显示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	10寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保护
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	380 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率(max)	20.5kW	27.5kW	55kW
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	80120185	100150185	120160195
非标定制	带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认证