单通道系列Chiler

2025/07/24 Chiller高精度冷热循环器 83

适用范围

FLTZ系列单通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。
Chillers的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录。

加载情况下控温精度高，可在-100℃~+90℃之间任意切换，具有良好的温度跟随性；先进的低温制冷技术，支持-100℃~ -80℃超低温控温。

产品参数

FLTZ 5℃～90℃

型号	FLTZ-002 FLTZ-002W	FLTZ-003 FLTZ-003W	FLTZ-004 FLTZ-004W	FLTZ-006 FLTZ-006W	FLTZ-008 FLTZ-008W	FLTZ-010 FLTZ-010W	FLTZ-015 FLTZ-015W
温度范围	5℃～90℃
控温精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
制冷量at10℃	6kW	8kW	10kW	15kW	20kW	25kW	40kW
内循环液容积	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨胀罐容积	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷剂	R410A
载冷剂	硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯净水等（纯净水温度需要控制10℃以上）
进出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷却水口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷却水流量at20℃	1.5m³/h	2m³/h	2.5m³/h	4m³/h	4.5m³/h	5.6m³/h	9m³/h
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
外形尺寸 cm	9538106	9538106	950380106	9843140	9843140	10860150	10860150

FLTZ -25℃～+90℃

型号	FLTZ-202 FLTZ-202W	FLTZ-203 FLTZ-203W	FLTZ-204 FLTZ-204W	FLTZ-206 FLTZ-206W	FLTZ-208 FLTZ-208W	FLTZ-210 FLTZ-210W	FLTZ-215 FLTZ-215W
温度范围	-25℃～90℃
控温精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
流量 MAX	10～25L/min		15～45L/min			25～75L/min
制冷量at-15℃	2kW	3kW	3.8kW	6kW	7.6kW	10kW	15kW
内循环液容积	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨胀罐容积	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷剂	R404A
载冷剂	硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
进出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷却水接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷却水流量at20℃	1.2m³/H	1.6m³/H	2.6m³/H	3.6m³/H	5.5m³/H	7m³/H	10.2m³/H
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
外形尺寸 cm	9538106	9538106	9538106	9843140	9843140	10860150	10860150

FLTZ -45℃～+90℃

型号	FLTZ-402 FLTZ-402W	FLTZ-403 FLTZ-403W	FLTZ-404 FLTZ-404W	FLTZ-406 FLTZ-406W	FLTZ-408 FLTZ-408W	FLTZ-410 FLTZ-410W	FLTZ-415 FLTZ-415W
温度范围	-45℃～90℃
控温精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
流量/压力 MAX	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 5bar max			25～75L/min 5bar max
制热	采用压缩机制热，防止冷凝器结霜技术
制冷量at-35℃	1kW	1.4kW	1.8kW	2.5kW	3.3kW	5kW	8kW
内循环液容积	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨胀罐容积	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷剂	R404A
载冷剂	硅油、氟化液、乙醇水溶液等
进出接口尺寸	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷却水接口	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷却水流量at20℃	1.5m³/H	2.4m³/H	3.5m³/H	5m³/H	5.5m³/H	6m³/H	8m³/H
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
外形尺寸 cm	9538106	9538106	9538106	9843140	9843140	10850150	10850150

FLTZ -80℃～+90℃

型号	FLTZ-803W	FLTZ-805W	FLTZ-806W	FLTZ-808W	FLTZ-810W
温度范围	-80℃～+90℃
控温精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
流量/压力 MAX	7～25L/min 5bar		12～45L/min 6bar
制冷量at-70℃	0.6kW	1kW	1.5kW	2kW	3kW
加热功率	2kW	2kW	2kW	3.5kW	3.5kW
内循环液容积	4L	5L	6L	8L	10L
膨胀罐容积	10L	10L	15L	15L	20L
导热介质	氟化液
进出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
冷却水接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷却水at20℃	1.8m3/h	2.5m3/h	3m3/h	5m3/h	6m3/h
断路器	25A	25A	32A	40A	50A
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

FLTZ -100℃～+90℃

型号	FLTZ-1002W	FLTZ-1004W
温度范围	-100℃～+90℃
控温精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
流量 MAX	7～25L/min	12～45L/min
制冷量at-90℃	1.5kW	3kW
加热功率	3.5kW	5.5kW
内循环液容积	5L	8L
膨胀罐容积	10L	15L
导热介质	氟化液
导热介质接口	ZG3/4	ZG3/4
冷却水接口	ZG3/4	ZG1
冷却水at20℃	50L/min 2bar~7bar	100L/min 2bar~7bar
断路器	32A	63A
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

型号	FLTZ-001S	FLTZ-002S FLTZ-002WS	FLTZ-003S FLTZ-003WS	FLTZ-004S FLTZ-004WS	FLTZ-006S FLTZ-006WS	FLTZ-008WS	FLTZ-010WS
温度范围	15℃～25℃
控温精度	±0.005℃ 设备出口温度控制精度
流量	7L/min 3bar	15L/min at 4bar		30L/min at 4bar		75L/min at 4bar
制热	采用压缩机制热，防止冷凝器结霜技术
制冷量@20℃	3kW	7kW	10.5kW	14kW	21kW	28kW	35kW
液体容积	8L	15L	20L	30L	50L	60L	80L
制冷剂	R1234fa （ODP=0 GWP=4）
载冷剂	纯净水
控制器	PLC，模糊PID控制算法，具备串级控制算法
温度控制	导热介质出口温度控制模式 pt100
	外接温度传感器：（PT100或4～20mA或通信给定）控制模式（串级控制）
通信协议	以太网接口TCP/IP协议
	RS485接口 modbus RTU协议
设备内部温度反馈	设备导热介质出口温度、介质进口温度、制冷系统冷凝温度、压缩机排吸气温度、冷却水温度（水冷设备有）
系统压力	制冷系统压力采集高低压压力传感器
	循环系统压力采集进出口位置采用压力传感器
循环泵	磁力无机械密封循环泵
蒸发器	板式换热器
冷凝器	微通道冷凝器（风冷）
	板式换热器（水冷），特别注意：需要使用清洁厂务水
制冷节流	电子膨胀阀
操作面板	7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示\EXCEL 数据导出
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、冷冻机过载保护；压力保护，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
系统捡漏	制冷系统100%氦检出厂循环系统100%氦检出厂
进出接口尺寸	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G1
冷却水接口	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G1
外壳	冷轧板喷塑RAL7035