FLTZ-B面板系列Chiller

2025/07/24 Chiller高精度冷热循环器 690

应用：
该系列产品目前主要应用于面板制程中的薄膜沉积和刻蚀、OLED真空镀膜、Micro-LED热量转移、激光加工等等环节。
产品优势：
稳定运行：精确匹配行业需求，集成多种安全防护功能，保障面板工艺制程稳定运行。
温度范围广、控温精准：-20℃~120℃，控温精度最高达±0.01℃；
高效节能：采用全变频技术，结合压缩机余热回收，降低能耗20%；
氟化液损耗量少：闭式循环系统设计，减少氟化液高温挥发。
设备体积小：多通道整合，更高效的空间利用；

产品参数

型号		FLTZ-B-P001W	FLTZ-B-D001W		FLTZ-B-T001W
通道类型		1-loop independent	2-loop independent		3-loop independent
性能参数	通道型号	CH1	CH1	CH2	CH1	CH2	CH3
	温度范围	25~30℃	-20~90℃	常温~90℃	10~90℃	10~90℃	10~90℃
	温度控制精度	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
	冷却能力	21kW@25℃	35kW@5℃	30kW@PCW+10℃	7kW@10℃	3kW@10℃	8kW@10℃
	加热能力	2kW	4kW	38kW	2kW	4kW	6kW
	循环液类型/电导率	DI WATER @10~18MΩ·cm	乙二醇水溶液	乙二醇水溶液	氟化液HT-170	氟化液HT-170	氟化液HT-170
	循环液流量压力	80LPM@0.5MPa	25LPM@0.4MPa	25LPM@0.4MPa	35LPM@0.5MPa	35LPM@0.5MPa	35LPM@0.5MPa
	循环液接口	Rc1	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
	PCW温度	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃
	PCW流量	3.6m³/h	6m³/h	5.5m³/h	3.5m³/h
	PCW压力	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar
	PCW接口	Rc1	Rc1 1/4		Rc1
安全装置	过载保护功能	压缩机、循环泵、加热器等热过载保护
	电源保护功能	电源过电流、过欠压、缺相等保护
	液位保护	低流量、低液位等保护
	安全联锁装置	EMO+INTERLOCK
	上锁挂牌装置	LOTO装置
	漏液检测装置	设备内外部LEAK SENSON检测
通讯类型	支持多种通讯协议	支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等
安装环境	环境温度	10~40℃
安装环境	环境湿度	30~70%RH
外壳材质		冷轧板喷塑RAL7035
电源		220VAC±10%，三相(可定制)
外形尺寸cm		60105135	78100190		85100180

型号		FLTZ-B-F001W
通道类型		4-loop independent
性能参数	通道型号	CH1	CH2	CH3	CH4
	温度范围	-20~90℃	-20~90℃	30~120℃	30~120℃
	温度控制精度	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
	冷却能力	12kW@10℃	12kW@10℃	5kW@30℃	5kW@30℃
	加热能力	6kW	6kW	20kW	40kW
	循环液类型/电导率	氟化液HT-135	氟化液HT-135	氟化液HT-170	氟化液HT-170
	循环液流量压力	45LPM@0.5MPa	45LPM@0.5MPa	45LPM@0.5MPa	50LPM@0.5MPa
	循环液接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
	PCW温度	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃
	PCW流量	1.5m³/h	1.5m³/h	2.3m³/h	3.5m³/h
	PCW压力	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar
	PCW接口	Rc1 1/2
安全装置	过载保护功能	压缩机、循环泵、加热器等热过载保护
	电源保护功能	电源过电流、过欠压、缺相等保护
	液位保护	低流量、低液位等保护
	安全联锁装置	EMO+INTERLOCK
	上锁挂牌装置	LOTO装置
	漏液检测装置	设备内外部LEAK SENSON检测
通讯类型	支持多种通讯协议	支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等
安装环境	环境温度	10~40℃
安装环境	环境湿度	30~70%RH
外壳材质		冷轧板喷塑RAL7035
电源		220VAC±10%，三相(可定制)
外形尺寸cm		120160185