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面板系列Chiller

面板系列Chiller

适用范围

 

面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等,支持⼤流量⾼负载,确保极端⼯况下持续稳定运⾏;支持冷却⽔动态调节系统,可根据环境温度与设备热负荷,实时调节⽔温。
采用变频智能节能控制,减少⽆效能耗;全⾃动补液与⽔质管理,缺液时⾃动补液;符合三通道⼯艺设计要求,确保信号/流体的独⽴传输与精准控制。

双通道Panel Chiller

型号FLTZ-203W-2T
管道通道1通道2
温度范围-20℃~+90℃-20℃~+90℃
控温精度±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
制冷量4kW@-10℃4kW@-10℃
加热能力2kW2kW
流量/压力 MAX20L/min 0.5MPa20L/min 0.5MPa
导热介质接口ZG3/4ZG3/4
环境温度10~35℃10~35℃
环境湿度30~70%30~70%
冷却水温度15~20℃15~20℃
冷却水流量20L/min20L/min
断路器30A
⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度(动态控温)
重量400kg
外形尺寸 cm50*90*160

三通道Panel Chiller

型号FLTZ-203W/ETCU-008W
管道通道1通道2通道3
温度范围-10℃~+60℃+30℃~+80℃-10℃~+80℃
温度稳定度±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
冷却能力4kW@-10℃/21kW@+20℃6 kW@+30℃3kW@-10℃
加热能力4kW4.5+6kW3kW
流量/压力 MAX17L/min 0.7MPa17L/min 0.7MPa17L/min 0.7MPa
导热介质接口ZG3/4ZG3/4ZG3/4
环境温度10~35 ℃10~35 ℃10~35 ℃
环境湿度30~70%30~70%30~70%
冷却水温度15~20℃15~20℃15~20℃
冷却水流量30L/min@15~20℃15L/min@15~20℃15L/min@15~20℃
断路器100A
⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
重量600kg
外形尺寸 cm60*100*170

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