400-100-3173

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多通道系列Chiller

多通道系列Chiller

Chiller高精度冷热循环器 3046

半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度准确控制，控温范围：-100℃～+90℃；控温精度：±0.01℃。公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。

产品详情详细参数

chiller 的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录。

40℃以内加热方式采用压缩机热气加热。chiller 循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵。Chiller 100%氦检测，100%安规检测，确保系统安全可靠。chiller 100%经过24小时连续运行拷机。

冷凝器 微通道换热器（风冷）板式换热器（水冷）；蒸发器：板式换热器；节流装置：电子膨胀阀；控制系统：PLC可编程控制器

通讯：RS485接口Modbus RTU协议，以太网接口 TCP/IP协议

操作界面：无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示\EXCEL 数据导出

循环系统：整个系统为全密闭系统，低温不吸收空气中水份，不挥发导热介质，低温自动补充导热介质进入循环系统。

外壳材质：冷轧板喷塑RAL7035；管路内部含：不锈钢SUS304、铜、陶瓷、碳化硅、硅酮密封胶、PTFE

 

FLTZ  -20℃~+90℃

型号FLTZ-D-202WFLTZ-D-203WFLTZ-D-B003B203W
通道系数CH1CH2CH1CH2CH1CH2
介质温度范围 -20~＋90℃ -20~＋90℃-20~＋90℃ -20~＋90℃ -20~＋90℃ -20~＋90℃
控制系统PLC控制器PLC控制器PLC控制器
控制模式本体出液口温控控制模式
负载温度控制模式（通信）
出口温度控制精度±0.1℃
冷却能力1kW@-20℃1kW@-20℃2.5kW@-15℃2.5kW@-15℃4kW@-15℃20kW@冷却水温度+10℃
4kW@10℃4kW@10℃6kW@10℃6kW@10℃10kW@10℃
加热能力1.6kW1.6kW5.5kW5.5kW2kW5.5kW
介质类型、电阻率DI WATER@10~18MΩ·cm氟化液氟化液
介质流量压力20LPM@5bar20LPM@5bar20LPM@3bar20LPM@3bar20LPM@5bar20LPM@5bar
介质接口Rc1/2Rc1/2Rc1/2Rc1/2Rc3/4Rc3/4
冷却水20℃@2.5m³/h@2~4bar20℃@3.5m³/h@2~4bar20℃@2.7m³/h@2~4bar20℃@3.5m³/h@2~4bar
冷却水接口Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc3/4
通道温度控制PID控制调节，每路温度独立控制
每组流量控制15~20LPM变频调节功能
流量显示精度±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM
水箱容积15L15L15L15L15L15L
操作面板7寸彩色触摸屏
安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
安全联锁装置EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置LOTO
漏液检测装置设备内外部LEAK SENSON
通讯类型支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)
电源220 VAC ± 10%，三相(可定制)380 VAC ± 10%，三相(可定制)220 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率11kW(49A)18kW（48A)14.5kW（55A)
外壳材质冷轧板喷塑RAL7035冷轧板喷塑RAL7035冷轧板喷塑RAL7035
外形尺寸cm60*85*14075*110*17046*90*187
非标定制配离子交换树脂过滤器
带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能
可定制双通道液位平衡		带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能
可定制设计满足semi2/semiF47认证
可定制双通道液位平衡		带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能
可定制设计满足semi2/semiF47认证
可定制双通道液位平衡

FLTZ  -40℃~+160℃

型号FLTZ-T-B203B205A1WFLTZ-T-B440A2A2WFLTZ-T-B210A1C1W
通道系数CH1CH2CH3CH1CH2CH3CH1CH2CH3
介质温度范围 -10~＋60℃30~＋80℃ -10~＋80℃ -40℃~+50℃30℃~+120℃30℃~+50℃ -25℃~+90℃30℃~+90℃25℃~+160℃
控制系统PLC控制器PLC控制器PLC控制器
控制模式本体出液口温控控制模式
负载温度控制模式（通信）
出口温度控制精度±0.1℃
冷却能力4kW@-10℃6kW@冷却水温度+10℃3kW@-10℃20kW@-30℃20kW@50℃25kW@35℃10kW@-10℃10kW@30℃4kW@100℃
16kW@20℃10kW@20℃
加热能力5.5kW5.5kW4kW5.5kW15kW5.5kW2kW7.5kW7.5kW
介质类型、电阻率氟化液氟化液氟化液
介质流量压力17LPM@7bar17LPM@7bar17LPM@7bar30LPM@11.5bar30LPM@11.5bar23LPM@10bar30LPM@6.5bar30LPM@6.5bar30LPM@6.5bar
介质接口Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc3/4
冷却水20℃@2.7m³/h@2~4bar20℃@2.5m³/h@2~4bar20℃@1.6m³/h@2~4bar20℃@20m³/h@2~4bar20℃@7m³/h@2~4bar20℃@5m³/h@2~4bar
冷却水接口Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc1 1/4Rc1 1/4Rc1 1/4Rc1Rc1Rc1
通道温度控制PID控制调节，每路温度独立控制
每组流量控制15~20LPM变频调节功能
流量显示精度±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM
水箱容积40L40L40L25L25L25L25L25L25L
操作面板7寸彩色触摸屏10寸彩色触摸屏
安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
安全联锁装置EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置LOTO
漏液检测装置设备内外部LEAK SENSON
通讯类型支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)
电源220 VAC ± 10%，三相(可定制)380 VAC ± 10%，三相(可定制)380 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率31kW（113A)65kW（136A)34kW（135A)
外壳材质冷轧板喷塑RAL7035冷轧板喷塑RAL7035冷轧板喷塑RAL7035
外形尺寸cm70*100*185115*150*210105*135*195
非标定制带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足semi2/semiF47认证

FLTZ  -20℃~+90℃

型号FLTZ-D-202WFLTZ-D-203WFLTZ-D-B003B203W
通道系数CH1CH2CH1CH2CH1CH2
介质温度范围 -20~＋90℃ -20~＋90℃-20~＋90℃ -20~＋90℃ -20~＋90℃ -20~＋90℃
控制系统PLC控制器PLC控制器PLC控制器
控制模式本体出液口温控控制模式
负载温度控制模式（通信）
出口温度控制精度±0.1℃
冷却能力1kW@-20℃1kW@-20℃2.5kW@-15℃2.5kW@-15℃4kW@-15℃20kW@冷却水温度+10℃
4kW@10℃4kW@10℃6kW@10℃6kW@10℃10kW@10℃
加热能力1.6kW1.6kW5.5kW5.5kW2kW5.5kW
介质类型、电阻率DI WATER@10~18MΩ·cm氟化液氟化液
介质流量压力20LPM@5bar20LPM@5bar20LPM@3bar20LPM@3bar20LPM@5bar20LPM@5bar
介质接口Rc1/2Rc1/2Rc1/2Rc1/2Rc3/4Rc3/4
冷却水20℃@2.5m³/h@2~4bar20℃@3.5m³/h@2~4bar20℃@2.7m³/h@2~4bar20℃@3.5m³/h@2~4bar
冷却水接口Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc3/4
通道温度控制PID控制调节，每路温度独立控制
每组流量控制15~20LPM变频调节功能
流量显示精度±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM
水箱容积15L15L15L15L15L15L
操作面板7寸彩色触摸屏
安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
安全联锁装置EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置LOTO
漏液检测装置设备内外部LEAK SENSON
通讯类型支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)
电源220 VAC ± 10%，三相(可定制)380 VAC ± 10%，三相(可定制)220 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率11kW(49A)18kW（48A)14.5kW（55A)
外壳材质冷轧板喷塑RAL7035冷轧板喷塑RAL7035冷轧板喷塑RAL7035
外形尺寸cm60*85*14075*110*17046*90*187
非标定制配离子交换树脂过滤器
带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能
可定制双通道液位平衡		带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能
可定制设计满足semi2/semiF47认证
可定制双通道液位平衡		带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能
可定制设计满足semi2/semiF47认证
可定制双通道液位平衡

FLTZ  -40℃~+160℃

型号FLTZ-T-B203B205A1WFLTZ-T-B440A2A2WFLTZ-T-B210A1C1W
通道系数CH1CH2CH3CH1CH2CH3CH1CH2CH3
介质温度范围 -10~＋60℃30~＋80℃ -10~＋80℃ -40℃~+50℃30℃~+120℃30℃~+50℃ -25℃~+90℃30℃~+90℃25℃~+160℃
控制系统PLC控制器PLC控制器PLC控制器
控制模式本体出液口温控控制模式
负载温度控制模式（通信）
出口温度控制精度±0.1℃
冷却能力4kW@-10℃6kW@冷却水温度+10℃3kW@-10℃20kW@-30℃20kW@50℃25kW@35℃10kW@-10℃10kW@30℃4kW@100℃
16kW@20℃10kW@20℃
加热能力5.5kW5.5kW4kW5.5kW15kW5.5kW2kW7.5kW7.5kW
介质类型、电阻率氟化液氟化液氟化液
介质流量压力17LPM@7bar17LPM@7bar17LPM@7bar30LPM@11.5bar30LPM@11.5bar23LPM@10bar30LPM@6.5bar30LPM@6.5bar30LPM@6.5bar
介质接口Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc3/4
冷却水20℃@2.7m³/h@2~4bar20℃@2.5m³/h@2~4bar20℃@1.6m³/h@2~4bar20℃@20m³/h@2~4bar20℃@7m³/h@2~4bar20℃@5m³/h@2~4bar
冷却水接口Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc1 1/4Rc1 1/4Rc1 1/4Rc1Rc1Rc1
通道温度控制PID控制调节，每路温度独立控制
每组流量控制15~20LPM变频调节功能
流量显示精度±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM±0.5 LPM
水箱容积40L40L40L25L25L25L25L25L25L
操作面板7寸彩色触摸屏10寸彩色触摸屏
安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
安全联锁装置EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置LOTO
漏液检测装置设备内外部LEAK SENSON
通讯类型支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)
电源220 VAC ± 10%，三相(可定制)380 VAC ± 10%，三相(可定制)380 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率31kW（113A)65kW（136A)34kW（135A)
外壳材质冷轧板喷塑RAL7035冷轧板喷塑RAL7035冷轧板喷塑RAL7035
外形尺寸cm70*100*185115*150*210105*135*195
非标定制带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足semi2/semiF47认证

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