无锡冠亚恒温
双通道系列Chiller
Chiller高精度冷热循环器 1707
半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，控温范围：-100℃～+90℃；控温精度：±0.01℃。公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。
chiller 的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录。
40℃以内加热方式采用压缩机热气加热。chiller 循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵。Chiller 100%氦检测，100%安规检测，确保系统安全可靠。chiller 100%经过24小时连续运行拷机。
冷凝器 微通道换热器（风冷）板式换热器（水冷）；蒸发器：板式换热器；节流装置：电子膨胀阀；控制系统：PLC可编程控制器
通讯：RS485接口Modbus RTU协议，以太网接口 TCP/IP协议
操作界面：无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示\EXCEL 数据导出
循环系统：整个系统为全密闭系统，低温不吸收空气中水份，不挥发导热介质，低温自动补充导热介质进入循环系统。
外壳材质：冷轧板喷塑RAL7035；管路内部含：不锈钢SUS304、铜、陶瓷、碳化硅、硅酮密封胶、PTFE
FLTZ -20℃~+90℃
| 型号 | FLTZ-203W-2T | |
| 管道 | 通道1 | 通道2 |
| 温度范围 | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| 控温精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | |
| 制冷量 | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| 加热能力 | 2kW | 2kW |
| 流量/压力 MAX | 20L/min 0.5MPa | 20L/min 0.5MPa |
| 导热介质接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 环境温度 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 环境湿度 | 30～70% | 30～70% |
| 冷却水温度 | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷却水流量 | 20L/min | 20L/min |
| 断路器 | 30A | |
| ⼯艺过程温度控制 | 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温） | |
| 重量 | 400kg | |
| 外形尺寸 cm | 50*90*160 | |
FLTZ -45℃~+80℃
| 型号 | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| 管道 | 通道1 | 通道2 |
| 温度范围 | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| 温度稳定度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | |
| 冷却能力 | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ | 13kW@+10℃ |
| 加热能力 | 2kW | 6kW |
| 流量/压力 MAX | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| 导热介质接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 环境温度 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 环境湿度 | 30～70% | 30～70% |
| 冷却水温度 | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷却水流量 | 40L/min | 20L/min |
| 断路器 | 80A | |
| ⼯艺过程温度控制 | 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温） | |
| 重量 | 550kg | |
| 外形尺寸 cm | 60*100*185 | |
FLTZ -45℃~+90℃
| 型号 | FLTZ-203W/2T双系统 | FLTZ-305W/2T 双系统 | FLTZ-406W/2T 双系统 | |||
| 温度范围 | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| 控温精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | |||||
| 流量/压力 MAX | 15~45L/min 6bar | |||||
| 制热 | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 制冷量 | 3kW at-15℃ | 3kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 2.5kW at -35℃ | 2.5kW at -35℃ |
| 内循环液容积 | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| 膨胀罐容积 | 15L | 25L | 25L | |||
| 导热介质 | 氟化液、防冻液、导热硅油等 | |||||
| 制冷剂 | R404A/ R448 | |||||
| 导热介质接口 | Rc3/4 | |||||
| 冷却水接口 | Rc3/4 | |||||
| 冷却水 | 50L/min at20℃ | 60L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| 电源 | 三相220V / 三相400V /三相460V | |||||
| ⼯艺过程温度控制 | 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温） | |||||
FLTZ 40℃~+250℃
| 型号 | FLTZH-5W/2T | ||
| 介质温度范围 | 40℃～+250℃ | ||
| 控制系统 | PLC控制器 | ||
| 温控点控制模式 | 本体出液口温控控制模式 本体回液口温度控制模式 CHUCK入口温度控制模式（通信） CHUCK回口温度控制模式（通信） CHUCK本体温度控制模式（通信） | ||
| 温差控制 | 可设定控制目标控制温度点与本体出液口温度温差 | ||
| 通信协议 | MODBUS RTU 协议 RS485接口，以太网接口 | ||
| 外接入温度反馈 | 通过通信 | ||
| 介质出口温控精度 | ±0.1℃ | ||
| CHUCK温控精度 | ±0.5℃ | ||
| 加热功率 | 5.5kW | 5.5kW | |
| 冷却能力 kW AT | 250 ℃ | 5.5kW | 5.5kW |
| 150 ℃ | 5kW | 5kW | |
| 100 ℃ | 4kW | 4kW | |
| 50 ℃ | 2kW | 2kW | |
| 流量/压力 | 8L/min 4bar | 8L/min 4bar | |
| 操作面板 | 7寸触摸屏 | ||
| 安全防护 | 具有自我诊断功能；相序断相保护器、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护 | ||
| 密闭循环系统 | 整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质。 | ||
| 接口尺寸 | G1/2 | G1/2 | |
| 冷却水接口 | Rc1/2 | ||
| 冷却水流量 | 10L/min max at 25℃ | ||
| 导热介质 | 氟化液 | ||
| 外形尺寸 cm | 45*85*145（可定制化） | ||
| 重量kg | 约40KG | ||
| 电源 | 220V 三相四线制 32A | ||
| 外壳材质 | 冷轧板喷塑RAL7035 | ||
FLTZ -20℃~+90℃
| 型号 | FLTZ-203W-2T | |
| 管道 | 通道1 | 通道2 |
| 温度范围 | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| 控温精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | |
| 制冷量 | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| 加热能力 | 2kW | 2kW |
| 流量/压力 MAX | 20L/min 0.5MPa | 20L/min 0.5MPa |
| 导热介质接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 环境温度 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 环境湿度 | 30～70% | 30～70% |
| 冷却水温度 | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷却水流量 | 20L/min | 20L/min |
| 断路器 | 30A | |
| ⼯艺过程温度控制 | 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温） | |
| 重量 | 400kg | |
| 外形尺寸 cm | 50*90*160 | |
FLTZ -45℃~+80℃
| 型号 | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| 管道 | 通道1 | 通道2 |
| 温度范围 | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| 温度稳定度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | |
| 冷却能力 | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ | 13kW@+10℃ |
| 加热能力 | 2kW | 6kW |
| 流量/压力 MAX | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| 导热介质接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 环境温度 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 环境湿度 | 30～70% | 30～70% |
| 冷却水温度 | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷却水流量 | 40L/min | 20L/min |
| 断路器 | 80A | |
| ⼯艺过程温度控制 | 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温） | |
| 重量 | 550kg | |
| 外形尺寸 cm | 60*100*185 | |
FLTZ -45℃~+90℃
| 型号 | FLTZ-203W/2T双系统 | FLTZ-305W/2T 双系统 | FLTZ-406W/2T 双系统 | |||
| 温度范围 | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| 控温精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | |||||
| 流量/压力 MAX | 15~45L/min 6bar | |||||
| 制热 | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 制冷量 | 3kW at-15℃ | 3kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 2.5kW at -35℃ | 2.5kW at -35℃ |
| 内循环液容积 | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| 膨胀罐容积 | 15L | 25L | 25L | |||
| 导热介质 | 氟化液、防冻液、导热硅油等 | |||||
| 制冷剂 | R404A/ R448 | |||||
| 导热介质接口 | Rc3/4 | |||||
| 冷却水接口 | Rc3/4 | |||||
| 冷却水 | 50L/min at20℃ | 60L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| 电源 | 三相220V / 三相400V /三相460V | |||||
| ⼯艺过程温度控制 | 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温） | |||||
FLTZ 40℃~+250℃
| 型号 | FLTZH-5W/2T | ||
| 介质温度范围 | 40℃～+250℃ | ||
| 控制系统 | PLC控制器 | ||
| 温控点控制模式 | 本体出液口温控控制模式 本体回液口温度控制模式 CHUCK入口温度控制模式（通信） CHUCK回口温度控制模式（通信） CHUCK本体温度控制模式（通信） | ||
| 温差控制 | 可设定控制目标控制温度点与本体出液口温度温差 | ||
| 通信协议 | MODBUS RTU 协议 RS485接口，以太网接口 | ||
| 外接入温度反馈 | 通过通信 | ||
| 介质出口温控精度 | ±0.1℃ | ||
| CHUCK温控精度 | ±0.5℃ | ||
| 加热功率 | 5.5kW | 5.5kW | |
| 冷却能力 kW AT | 250 ℃ | 5.5kW | 5.5kW |
| 150 ℃ | 5kW | 5kW | |
| 100 ℃ | 4kW | 4kW | |
| 50 ℃ | 2kW | 2kW | |
| 流量/压力 | 8L/min 4bar | 8L/min 4bar | |
| 操作面板 | 7寸触摸屏 | ||
| 安全防护 | 具有自我诊断功能；相序断相保护器、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护 | ||
| 密闭循环系统 | 整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质。 | ||
| 接口尺寸 | G1/2 | G1/2 | |
| 冷却水接口 | Rc1/2 | ||
| 冷却水流量 | 10L/min max at 25℃ | ||
| 导热介质 | 氟化液 | ||
| 外形尺寸 cm | 45*85*145（可定制化） | ||
| 重量kg | 约40KG | ||
| 电源 | 220V 三相四线制 32A | ||
| 外壳材质 | 冷轧板喷塑RAL7035 | ||
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