FLS常温高精度chiller

2026/03/25 Chiller高精度冷热循环器 8

应用：
原理：CHILLER 高精度系列设备集成蒸汽压缩制冷系统与循环介质系统，进行制冷加热，可实现高精度控温，适用于光刻机、涂胶显影设备等领域制冷加热控温。
核心技术与优势：
1.高精度控温：
采用PID算法或PLC控制，实现温度波动≤±0.005℃，适用于高精密制造场景。
2.多场景适配：
支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介质使用。

产品参数

CHILLER常温高精度系列
型号	FLS-001S FLS-001WS	FLS-002S FLS-002WS	FLS-003S FLS-003WS	FLS-004S FLS-004WS	FLS-006S FLS-006WS	FLS-008S FLS-008WS	FLS-010S FLS-010WS
温度范围	15℃～25℃
控制模式	本体出液口温控控制模式
控制模式	工件负载温度控制（选配）
出口控温精度	±0.005℃（出口温度稳态）
工艺工程温度控制	可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
制冷量@20℃	2.5kW	6kW	9kW	10kW	15kW	20kW	25kW
介质类型	氟化液、乙二醇水溶液、纯净水,DI水等
介质流量压力	15LPM@3bar	15LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@5bar	30LPM@5bar
介质接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4
冷却水	0.6m³/h@23℃	1.1m³/h@23℃	1.6m³/h@23℃	2.2m³/h@23℃	3.3m³/h@23℃	4.4m³/h@23℃	5.5m³/h@23℃
冷却水接口	Rc3/8	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc1
膨胀罐容积	10L	10L	10L	15L	15L	20L	25L
流量控制	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	20LPM~50LPM
流量显示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	7寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏液报警进出液口压力监控及低液位保护
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	220 VAC ± 10%，单相(可定制)/220 VAC ± 10%，三相(可定制)/380 VAC ± 10%，三相(可定制)			380 VAC ± 10%，三相(可定制)/220 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率（MAX）	2kW	3.5kW	4.5kW	5kW	7kW	10.5kW	12.5kW
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	4080100	4080115	5095130	5095130	50100140	80100165	90110165
非标定制	带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能可定制设计满足SEMI认证