chiller冷水机组

半导体刻蚀工艺用刻蚀水冷机etch chiller系统研究与智能温控策略

在半导体刻蚀工艺中，温度的准确控制是保障刻蚀精度、均匀性及产品良率的关键因素之一。刻蚀水冷机etch chiller通过热力学原理与流体控制技术的结合，为刻蚀过程提供稳定的温度环境，其作用可从工艺需求与设备运...