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快速温变控温卡盘MD
制冷加热控温系统（气体）
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MD在热测试方面的zui大创新是热控制卡盘系列，主要用于半导体晶片的性能测试、建模、工艺开发、设计缺陷或IC故障分析。可以实现快速温度变化，精准控制温度。系统本身自带制冷机，避免了液氮、二氧化碳等的消耗，每个系统均包含了卡盘和冷热控制单元
| 型号 | MD-708 | MD-712 | MDL-708 |
| 温度范围 | -75℃～225℃ | -75℃～225℃ | -75℃～225℃ |
| 控温精度 | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ |
| 平板温度均匀性 | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ |
| 平板平整度 | ±50um | ±50um | ±50um |
| 平板尺寸 | 直径200mm圆盘 | 直径300mm圆盘 | 150mm*200mm |
| 主机与卡片连接线 | 2.5m(可定制其他长度） | ||
| 平板表面处理 | 电镀镍（可选择电镀 黄金） | ||
| 升温 | -60°C to +25°C: 2 min
0°C to +25°C: 2 min +25°C to +220°C: 6 min |
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| 降温 | 220°C to +25°C: 2 min
+25°C to -60°C: 6 min |
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| 控制系统 | PLC控制器，加热前馈PID模糊算法，制冷电子膨胀阀PID调节控制制冷量 | ||
| 显示与记录 | 7寸彩色触摸屏，记录温度曲线 | ||
| 通讯 | 以太网接口TCP/IP协议 | ||
| 制冷压缩机 | 泰康压缩机 | ||
| 电源 | 220V 50/60HZ 2.8KW | 220V 50/60HZ 4.5KW | 220V 50/60HZ 2.8KW |
| 主机尺寸mm | 550×650×370 | 550×650×370 | 550×650×370 |
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