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Chiller低温复叠制冷系列

Chiller低温复叠制冷系列

半导体温控装置

主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制40°C以内,加热方式采用压缩机热气加热

循环系统采用全密闭设计,循环泵采用磁力驱动泵

氨检测,安规检测,确保系统安全可靠性

经过24小时连续运行拷机

 

型号 FLT-803W FLT-805W FLT-806W FLT-808W FLT-810W
温度范围 -80℃~+80℃
控温精度 ±0.1℃
流量控制 7~25L/min 12~45L/min
流量控制采用变频器调节,根据流量传感器反馈信号自动调节转速,循环泵最大压力6bar
制冷量at-70℃ 0.6KW 1KW 1.5KW 2KW 3KW
加热功率 2KW 2KW 2KW 3.5KW 3.5KW
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L
导热介质 氟化液
进出接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4
冷却水接口 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
冷却水at20℃ 1.8m3/h 2.5m3/h 3m3/h 5m3/h 6m3/h
电源 380V 50HZ
断路器 25A 25A 32A 40A 50A

 

型号 FLT-1002W FLT-1004W
温度范围 -100℃~+80℃ -100℃~+80℃
控温精度 ±0.1℃ ±0.1℃
流量控制 7~25L/min 12~45L/min
流量控制采用变频器调节,根据流量传感器反馈信号自动调节转速,循环泵最大压力6bar
制冷量at-90℃ 1.5KW 3KW
加热功率 3.5KW 5.5KW
内循环液容积 5L 8L
膨胀罐容积 10L 15L
导热介质 氟化液
导热介质接口 ZG3/4 ZG3/4
冷却水接口 ZG3/4 ZG1
冷却水at20℃ 50L/min 2bar~7bar 100L/min 2bar~7bar
电源 380V 50HZ 380V 50HZ
断路器 32A 63A
尺寸 700*800*1850 800*1200*1850

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