快速温变控温卡盘MD
气体控温系统 1908
MD在热测试方面的zui大创新是热控制卡盘系列,主要用于半导体晶片的性能测试、建模、工艺开发、设计缺陷或IC故障分析。可以实现快速温度变化,精准控制温度。系统本身自带制冷机,避免了液氮、二氧化碳等的消耗,每个系统均包含了卡盘和冷热控制单元
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MD在热测试方面的zui大创新是热控制卡盘系列,主要用于半导体晶片的性能测试、建模、工艺开发、设计缺陷或IC故障分析。可以实现快速温度变化,精准控制温度。系统本身自带制冷机,避免了液氮、二氧化碳等的消耗,每个系统均包含了卡盘和冷热控制单元