Chiller 换热型 系统无压缩机
制冷加热控温系统(气体)
2019
半导体温控装置
主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制40°C以内,加热方式采用压缩机热气加热
循环系统采用全密闭设计,循环泵采用磁力驱动泵
氨检测,安规检测,确保系统安全可靠性
经过24小时连续运行拷机
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半导体温控装置
主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制40°C以内,加热方式采用压缩机热气加热
循环系统采用全密闭设计,循环泵采用磁力驱动泵
氨检测,安规检测,确保系统安全可靠性
经过24小时连续运行拷机
型号 | ETCU-005W | ETCU-008W | ETCU-015W | ETCU-030W |
温度范围 | 冷却水温度 +5℃~90℃ | |||
控温精度 | ±0.3℃ | |||
冷却水温度 | 7℃~30℃ 采用西门子/霍尼韦尔调节阀控制冷却水流量 | |||
冷却能力 | 5kw | 8kw | 15kw | 30kw |
测试条件:最大循环量时,控温温度与冷却水温度温差15℃ | ||||
循环泵流量 | 7~20L/min 5bar | 7~20L/min 5bar | 15~40L/min 5bar | 20~60L/min 5bar |
储罐容积 | 6L | 8L | 10L | 15L |
尺寸 | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 |
电源220V | 50HZ/60HZ 0.6kw | 50HZ/60HZ 1.3kw | 50HZ/60HZ 1.6kw |
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