400-100-3173

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Chiller高精度冷热循环器

Chiller高精度冷热循环器

冠亚恒温制冷代表国际先进的液体温度控制技术,积极探索和研究元件测试系统,主要用于医药化工、新能源、半导体、航空航天测试中的温度测试模拟,具有宽的温度方向和高温升降,温度范围:-100°C~+90°C,控温精度高达:±0.01℃适用于各种测试要求。

产品有流体氟化液控温(最低-100度)、支持多通道连续控温。所有设备出厂前经过100%氨检测,100%安规检测,确保系统安全可靠性。40℃以内加热方式采用压缩机热气加热,Chiller循环系统采用全密闭设计、采用磁力驱动泵,拥有高效的生产稳定性和可重复性结果,满足复杂控温需求,支持非标定制。


单通道系列chiller

半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,控温范围:-100℃~+90℃;控温精度:±0.01℃。公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),实现系统快速响应、较高的控制精度。

chiller 的排吸气温度(压力)、冷凝温度、冷却水温度(压力)、进出液体(气体)温度(压力)、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录。

FLTZ  5℃~+90℃

型号FLTZ-002
FLTZ-002W
FLTZ-003
FLTZ-003W
FLTZ-004
FLTZ-004W
FLTZ-006
FLTZ-006W
FLTZ-008
FLTZ-008W
FLTZ-010
FLTZ-010W
FLTZ-015
FLTZ-015W
温度范围5℃~+90℃
控温精度±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
制冷量AT10℃6kW8kW10kW15kW20kW25kW40kW

FLTZ  -25℃~+90℃

型号FLTZ-202
FLTZ-202W
FLTZ-203
FLTZ-203W
FLTZ-204
FLTZ-204W
FLTZ-206
FLTZ-206W
FLTZ-208
FLTZ-208W
FLTZ-210
FLTZ-210W
FLTZ-215
FLTZ-215W
温度范围-25℃~+90℃
控温精度±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
制冷量AT-15℃2kW3kW3.8kW6kW7.6kW10kW15kW

FLTZ  -45℃~+90℃

型号FLTZ-402
FLTZ-402W
FLTZ-403
FLTZ-403W
FLTZ-404
FLTZ-404W
FLTZ-406
FLTZ-406W
FLTZ-408
FLTZ-408W
FLTZ-410
FLTZ-410W
FLTZ-415
FLTZ-415W
温度范围-45℃~+90℃
控温精度±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
制冷量AT-35℃1kW1.4kW1.8kW2.5kW3.3kW5kW8kW

FLTZ  -80℃~+90℃

型号FLTZ-803WFLTZ-805WFLTZ-806WFLTZ-808WFLTZ-810W
温度范围 -80℃~+90℃
控温精度
  1. ±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
流量/压力 MAX7~25L/min  5bar12~45L/min 6bar

FLTZ  -100℃~+90℃

型号FLTZ-1002WFLTZ-1004W
温度范围 -100℃~+90℃
控温精度±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
流量 MAX7~25L/min12~45L/min
制冷量at-90℃1.5kW3kW

FLTZ  15℃~+25℃

型号FLTZ-001SFLTZ-002S
FLTZ-002WS
FLTZ-003S
FLTZ-003WS
FLTZ-004S
FLTZ-004WS
FLTZ-006S
FLTZ-006WS
 FLTZ-008WSFLTZ-010WS
温度范围15℃~25℃
控温精度±0.005℃  设备出口温度控制精度
流量7L/min 3bar15L/min  at 4bar30L/min at 4bar75L/min  at  4bar

所有设备额定测试条件:⼲球温度:20℃;湿球温度:16℃。进⽔温度:20℃;出⽔温度:25℃。


双通道系列chiller

多通道独⽴控温,可以具备单独的温度范围、冷却加热能⼒、导热介质流量等,采⽤独立的两套系统,根据所需的温度范围选择采⽤蒸汽压缩制冷,或者采⽤ETCU⽆压缩机换热系统,系统可通⽤膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等,可以有效减少设备尺⼨,减少操作步骤。

FLTZ -20℃~+90℃

型号FLTZ-203W-2T
管道通道1通道2
温度范围-20℃~+90℃-20℃~+90℃
控温精度±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
制冷量4kW@-10℃4kW@-10℃
冷却水流量20L/min20L/min

FLTZ -45℃~+80℃

型号FLTZ-406W/ETCU-015W
管道通道1通道2
温度范围-45℃~+40℃+10℃~+80℃
控温精度±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
制冷量11kW@-20℃  5kW@-40℃13kW@+10℃
冷却水流量40L/min20L/min

FLTZ -45℃~+90℃

型号FLTZ-203W/2T双系统FLTZ-305W/2T双系统FLTZ-406W/2T双系统
温度范围-20℃~+90℃-30℃~+90℃-45℃~+90℃
控温精度±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
流量压力15~45L/min , 6 bar max
制冷量3kW@-15℃3kW@-15℃5kW@-15℃5kW@-15℃2.5kW@-35℃2.5kW@-35℃
冷却水流量50L/min@20℃60L/min@20℃50L/min@20℃

所有设备额定测试条件:⼲球温度:20℃;湿球温度:16℃。进⽔温度:20℃;出⽔温度:25℃。

FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,系统支持三个通道独立控温,每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。
公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),实现系统快速响应、较高的控制精度,加载情况下控温精度可达±0.1C,可在-20℃~+100℃之间任意切换,具有良好的温度跟随性。

三通道 -10℃~+80℃

型号FLTZ-203W/ETCU-008W
管道通道1通道2通道3
温度范围-10℃~+60℃+30℃~+80℃-10℃~+80℃
控温精度±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
制冷量4kW@-10℃/21kW@20℃6kW@+30℃3kW@-10℃
冷却水流量30L/min@15~20℃15L/min@15~20℃15L/min@15~20℃

所有设备额定测试条件:⼲球温度:20℃;湿球温度:16℃。进⽔温度:20℃;出⽔温度:25℃。


三通道 -30℃~+100℃

型号FLTZ-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
管道通道1通道2通道3
温度范围-20℃~+50℃+30℃~+100℃-30℃~+40℃
控温精度±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
制冷量15kW@-10℃13kW@PCW+15℃8kW@PCW+10℃
冷却水流量30L/min@15~20℃15L/min@15~20℃15L/min@15~20℃

双通道高温chiller

本设备的研发⽬的是开发⼀种专⽤高温控温的Chiller,用来满足半导体⾼温测试需求。

创新点:介质温度最高可达250℃;以特殊的⼯艺方式,保证系统高温⼯况下的控温精度。

 

 

 

FLTZH 40℃~+250℃

型号FLTZH-5W/2T
介质温度范围40℃~+250℃
温控点控制模式本体出液口温控控制模式
本体回液口温度控制模式
CHUCK入口温度控制模式(通信)
CHUCK回口温度控制模式(通信)
CHUCK本体温度控制模式(通信)
外接入温度反馈通过通信
介质出口温控精度±0.1℃
CHUCK温控精度±0.5℃
加热功率5.5kW5.5kW
冷却能力 kW  AT250 ℃5.5kW5.5kW
150 ℃5kW5kW
100 ℃4kW4kW
50 ℃2kW2kW
流量/压力8L/min 4bar8L/min 4bar

所有设备额定测试条件:⼲球温度:20℃;湿球温度:16℃。进⽔温度:20℃;出⽔温度:25℃。


帕尔贴chiller

冠亚恒温LNEYA 帕尔贴热电制冷器CHILLER温度范围从-20到90℃,专为半导体行业度身定制;
基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理,帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制;
对于静电卡盘(ESC)动态的温度控制,使得其能够应用于所有类型的刻蚀工艺;
快速和精确的温度控制,能够满足任何严苛的工艺要求;

TEC -20℃~90℃

型号TEC-1200WTEC-2500WTEC-4500W
温度范围-20℃~90℃
控温精度±0.1℃
制冷能力20℃1200W2450W4500W
10℃900W1925W3500W
0℃600W1400W2600W
 -10℃350W875W1600W
 -20℃80W350W700W
制热能力>3000W>6000W>12000W

负压型控温机组chiller

负压型控温系统通过负压环境下的流体循环实现精准温度控制,原理:通过负压发⽣器驱动导热介质(⽔/油)循环,避免泄漏风险,适用于各种类型板卡冷却。

 

设备名称负压循环温控设备
设备型号ZLFQ-80
额定换热量80kW
一次侧
(介质侧)
工作介质纯水、氟化液、乙二醇水溶液等
额定流量300L/MIN
储液容积120L
供回液温度25/35℃
温控精度±0.3℃
真空泵抽气量130m³/h
负压压头70KPA
内循环泵配置1+1冗余
介口尺寸ZG1-1/4
二次侧
(冷却侧)
冷却介质PCW
冷却流量4m³/h
过滤精度50um
介口尺寸ZG1

 

 

 

 

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