400-100-3173

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Chiller直冷控温机组

Chiller直冷控温机组

接触式高低温测试机

 

设备应⽤温度范围-75~+200℃,⽀持从极低温到⾼温的快速升温和降温,最快速率可达到75℃/min,能够精确的控制温度,误差通常在±0.2℃以内。
应⽤于芯⽚研发:在芯⽚设计阶段,验证其在不同温度下的性能表现;
质量控制:在芯⽚⽣产过程中,进⾏可靠性测试,确保产品符合标准;
失效分析:通过⾼低温测试,分析芯⽚在极端温度下的实效模式。

 

设备型号KSD-705KSD-705PULSKSD-710
温度范围-70℃~+200℃-75℃~200℃-75℃~200℃
温度精度±0.2℃
升降温速率最高达75℃/min
制冷能力0℃800W1000W2000W
 -40℃500W800W1500W
 -55℃300W450W900W

ZLTZ直冷控温机组Chiller

 

新型直冷机适用于半导体、数据中心、新能源等需要高效、紧凑、可靠且精确散热的行业,尤其是在功率密度高、空间受限且对温度敏感的领域有显着优势。新型直冷机无二次换热,相比于传统液冷设备,减少二次换热带来的传热损失,提升能效30%以上。新型直冷机能够提供纯液态的换热介质,相比于传统直冷机气液两相混合的换热介质,新型直冷机充分利用制冷剂的潜热换热,换热密度大幅提高,所需的换热面积减少,能够满足半导体等行业高功率密度的需求。新型直冷机具备多路供液的能力,可精确控制每个支路的制冷量,满足各支路的控温需求。新型直冷机采用PT100高精度温度传感器和PID智能控制系统,温度误差范围极小,控温精确可靠。

型号ZLTZ-3
ZLTZ-3W
ZLTZ-6
ZLTZ-6W
ZLTZ-10
ZLTZ-10W
ZLTZ-15W
温度范围 -10℃ ~25℃
制冷量0℃8.1kW16.25kW28.5kW40.2kW
-10℃5.48kW11kW19.35kW26.6kW
接口尺寸出口φ12φ12φ28φ28
回口φ20φ20φ35φ35
水冷25℃2m3/h4m3/h6.2m3/h10m3/h
冷却水接口G3/4G3/4G1G1 1/4

型号ZLTZ4-3
ZLTZ4-3W
ZLTZ4-6
ZLTZ4-6W
ZLTZ4-10
ZLTZ4-10W
ZLTZ4-15W
温度范围 -40℃ ~20℃
制冷量-10℃5.2kW11.15kW18.4kW26.3kW
-20℃3.47kW7.41kW12.3kW18.35kW
-30℃2.24kW4.81kW7.92kW11.8kW
-40℃1.36kW2.95kW4.7kW5.83kW
接口尺寸出口φ12φ12φ16φ22
回口φ22φ22φ35φ35
水冷25℃2m3/h4.2m3/h5.3m3/h6.2m3/h
冷却水接口G3/4G3/4G3/4G1

型号ZLTZ8-3
ZLTZ8-3W
ZLTZ8-6
ZLTZ8-6W
ZLTZ8-10
ZLTZ8-10W
ZLTZ8-15W
温度范围 -80℃~ -30℃
制冷量-30℃
-40℃6.9kW14.8kW24.4kW36.7kW
-60℃3.3kW7.1kW12kW17.4kW
-75℃1.65kW3.55kW6kW8.7kW
接口尺寸出口φ12φ12φ16φ22
回口φ22φ22φ35φ35
水冷25℃2.7m3/h5.3m3/h6.68m3/h9.3m3/h
冷却水接口G3/4G3/4G1G1 1/4

ZLJ系列

将制冷系统中的制冷剂直接输出蒸发进入目标控制元件(换热器)换热,从而使目标控制对象降温。具备换热能力相对于流体(气体)输送入换热器换热能力更高,这样特别适用于换热器换热面积小,但是换热量大的运用场所。也可以如气体捕集运用,将制冷剂直接通入捕集器蒸发,通过捕集器表面冷凝效应,迅速捕集空间中的气体。

 

型号ZLJ-41ZLJ-43ZLJ-46
ZLJ-41WZLJ-43WZLJ-46W
温度范围 -40℃~-15℃
控温精度±1℃(出口温度稳态)
制冷AT-35℃0.5kw1.6kw3.2kw
制冷剂R404A 可选配R507C R448
高温降温具备高温150度直接降温技术,满足目标在高温运行时迅速进行降温能力
尺寸320*400*600800*700*600450*700*1350
断路器6A6A16A
型号ZLJ-81ZLJ-83ZLJ-86
ZLJ-81WZLJ-83WZLJ-86W
温度范围 -80℃~-50℃
控温精度±1℃(出口温度稳态)
制冷AT-70℃0.4kw1.3kw2.5kw
制冷剂R404A/R508B
高温降温具备高温150度直接降温技术,满足目标在高温运行时迅速进行降温能力
尺寸320*630*650950*1000*800550*1000*1750
断路器10A16A25A
型号SLJ-3WSLJ-4WSLJ-6WSLJ-11W
温度范围-150℃~-110℃
制冷AT-120℃3KW4KW6KW11KW
制冷AT-135℃2.5KW3.3KW5KW9KW
制冷剂LNEYA -150混合制冷剂
尺寸750*750*1750750*750*1750950*1000*20501300*2000*3500
断路器40A55A65A100A

 


 

快速温变控温卡盘CHUCK

该产品可以实现快速温度变化,精准控制温度。系统本⾝⾃带制冷机,避免了液氮、⼆氧化碳等的消耗,每个系统均包含了卡盘和冷热控制单元。

系统提供开放的表⾯平整⼯作平台,快速升降温、恒温控制,运⽤于RF器件和⾼密度功率器件测试,也可以运⽤于实验室平板快速冷却(⾎浆、⽣物制品、电池)等平板内部采⽤制冷剂直接蒸发⽅式,相对液冷⽅式⼤幅度提⾼了换热效率,提⾼单位⾯积平板的换热功率。

 

温度范围-70℃~200℃(可以定制各种温度范围)
温度均匀性土0.5℃
加热速率-55℃至+25℃:12 分钟
-40℃至+25℃:10 分钟
+25℃至+150℃:20 分钟
+25℃至+200℃:28 分钟
+25℃至+300℃:40 分钟
冷却速率+150℃至+25℃:25 分钟
+200℃至+25℃:30 分钟
+300℃至+25℃:40 分钟
+25℃至0℃:15 分钟
+25℃至-40℃:35 分钟
+25℃至-55℃:65 分钟
冷却方式直冷系统/液冷系统/气冷系统
控温方式内置多个温度传感器,多区控温,精确FII调节控温
晶圆载板镀镍(金/非导电),与卡盘柔性连接,方便更换,载板平面度3μm≤10μm
晶圆吸附类型真空吸附
卡盘尺寸φ330*58mm
电源220V 50HZ200~230V AC50/60HZ 16A max
通讯方式ModbusRTU协议,RS485接口,选配CAN通信总线、以太网接口TCP/IP协议
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