真空控温卡盘Chuck

适用范围

冠亚恒温LNEYA真空控温卡盘Chuck提供8寸卡盘、12寸卡盘以及非标定制方形冷板，支持-70~+200℃宽温度范围，也可以定制各种其他温度范围，内置多个温度传感器，多区控温，精确FID调节控温；支持直冷、液冷、⽓冷；

温度范围	-70℃~200℃（可以定制各种温度范围）
温度均匀性	土0.5℃
加热速率	-55℃至+25℃：12 分钟 -40℃至+25℃：10 分钟 +25℃至+150℃：20 分钟 +25℃至+200℃：28 分钟 +25℃至+300℃：40 分钟
冷却速率	+150℃至+25℃：25 分钟 +200℃至+25℃：30 分钟 +300℃至+25℃：40 分钟 +25℃至0℃：15 分钟 +25℃至-40℃：35 分钟 +25℃至-55℃：65 分钟
冷却方式	直冷系统/液冷系统/气冷系统
控温方式	内置多个温度传感器，多区控温，精确FII调节控温
晶圆载板	镀镍(金/非导电)，与卡盘柔性连接，方便更换，载板平面度3μm≤10μm
晶圆吸附类型	真空吸附
卡盘尺寸	φ330*58mm
电源220V 50HZ	200~230V AC50/60HZ 16A max
通讯方式	ModbusRTU协议,RS485接口，选配CAN通信总线、以太网接口TCP/IP协议

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