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在半导体薄膜沉积工艺中，薄膜沉积冷水机PVD chiller的稳定运行有助于薄膜质量和生产效率。及时判断设备是否需要维护，可预防故障发生，保障工艺连续性。
一、监测运行参数的偏离情况
1、温度控制精度波动
薄膜沉积冷水机PVD chiller的控温精度是判断其性能的核心指标之一。若发现循环液温度波动超出设备标称范围，且非工艺负载变化所致，可能是制冷系统异常的信号，可能是温度传感器失灵、电子膨胀阀调节异常或制冷剂量不足等问题，需进一步排查。
2、制冷量与压力参数异常
观察制冷系统的压力参数是否偏离正常范围。若高压压力持续高于额定值，可能是冷凝器脏污、冷却水量不足或系统内有空气；若低压压力过低，可能是制冷剂泄漏、膨胀阀堵塞或蒸发器结霜。同时，制冷量下降表现为相同工况下达到设定温度的时间延长，需检查压缩机效率、换热器换热效果等。
3、流量与压力的异常波动
循环液流量和压力是保障换热效率的关键参数之一。当循环泵出口压力低于额定值，或流量显示值偏离设定值，可能是管路堵塞、泵体磨损或变频器故障。此时需检查过滤器是否堵塞、管路是否有泄漏点，或测试泵的转速与扬程是否符合要求。
二、关注功能表现与系统异常提示
1、换热效率下降的直观表现
若薄膜沉积设备的工艺腔体温升速率变快，或维持相同温度所需的冷水机运行时间增加，可能是冷水机换热效率下降的表现。可能是蒸发器表面结垢、冷凝器散热不佳或导热介质性能退化。
2、系统异常提示与异常声响
当冷水机的PLC控制系统发出异常提示信号，需立即查看提示代码并分析原因。若运行中出现泄漏提示，可能是管路接口密封失效或换热器穿孔；若听到压缩机有异常敲击声或振动加剧，可能是内部零件磨损或制冷剂中混入杂质，需停机检查。
三、检查物理状态与介质性能
1、设备外观与管路的目视检查
定期检查冷水机外壳及管路是否有结露、油污或泄漏痕迹。若发现制冷管路表面有油渍，可能是制冷剂泄漏，需用检漏仪进一步检测；若循环水管路出现结露，可能是保温层损坏或系统内进入空气，导致冷凝水析出。此外，查看膨胀罐液位是否在正常范围，若液位持续下降，可能是系统泄漏或导热介质挥发。
2、导热介质与耗材的性能评估
分析导热介质的理化性质，若发现硅油、氟化液等载冷剂出现浑浊、变色或黏度异常，需及时更换。同时，检查过滤器滤芯是否堵塞。
判断薄膜沉积冷水机PVD chiller是否需要维护需综合运行参数监测、功能异常识别、物理状态检查及预防性维护计划。通过建立定期巡检制度，可及时发现潜在问题，避免设备故障对半导体工艺造成影响，确保冷水机持续稳定运行。
