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光刻机制冷机组选择注意事项

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光刻机制冷机组的种类有很多,各有各的特点,用户需要根据使用需求选择适合的光刻机制冷机组。那么到底有哪些光刻机制冷机组呢?

1、根据机型构造光刻机制冷机组根据冷却方式的差异,也被分成了风冷式和水冷式。

2、冷却介质有盐水,乙二醇等等,也可以根据冷却介质的不同进行分类。

3、光刻机制冷机组的压缩机为活塞式、离心式,、涡旋式、螺杆式,我们也可以根据光刻机制冷机组压缩机对其进行分类。此外,光刻机制冷机组的蒸发器也有很多类型,也可以根据蒸发器类型差异对其进行划分。根据出水温度又或是制冷原理的不同,又被分成了吸收式和压缩式。

4、在更换的时候,需要先取下连接压缩机排气管和吸气管的连接管道,由于连接冷凝器和管道距离较近,不容易从管口中取出,因此应先取下连接压缩机排气管和吸气管的管道。

5、安装四通阀阀体的时候,可以使用焊枪加热连接四通间根部3根管道的管口,使表面剩余焊料充分熔化、流动直至掉下,使管口表面光滑,这样能顺利插入至四通阀管口。因焊接时难点在于根部的3个管道,可将连接压缩机排气管的管道扳到一边,待焊接3个管口后再焊接连接压缩机排气管的管口。

6、由于四通间中间管道难焊接,应首先焊接中间管道,再焊接两侧管道,接着焊接连接压缩机排气管的管道,安装和焊接接连压缩机排气管管口之后,四个接口焊接完成啦

7、安装完光刻机制冷机组的四通阀之后,需要注意制冷系统的捡漏工作,捡漏结束再投入使用。

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