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LTS-604/LTS-604W

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产品参数

  • 流量:12~45L/min
  • 控温精度:±0.1℃ at -60℃~-30℃
  • 内循环液容积:6L
  • 膨胀罐容积 :15L

广泛运用在半导体制程中对反应腔室控温、热沉板控温及需要传热介质不可燃流体控温场所。

  • 1、介质循环系统保压测试7bar。
    2、采用高品质磁力泵,没有机械轴封。
    3、优化温度采样及响应速度,专门设计控制算法,能快速响应到控温稳定。
    4、增强循环泵能力设计,满足系统高扬程需求。
    5、持续高温降温技术,满足在热沉板加载热量,需要冷热恒温控制时稳定运行。
    6、针对氟化液易挥发特点,加强了接头设计、系统密封设计,确保介质使用寿命。

 

型号 LTS-604/LTS-604W
温度范围   -60℃~80℃
控温精度 ±0.1℃  -60℃~-30℃
流量控制 12~45L/min
流量控制采用变频器调节,根据流量传感器反馈信号自动调节转速,循环泵最大压力5bar
内循环液容积 6L
膨胀罐容积 15L
系统压力显示 制冷系统压力采用指针式压力表实现(高压、低压)
循环系统压力采集出口位置采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器 西门子PLC,模糊PID控制算法,具备串级控制算法
温度控制 导热介质出口温度控制模式
外接温度传感器:(PT100或4~20mA或通信给定)控制模式(串级控制)
通信协议 以太网接口TCP/IP协议
RS485接口 modbus RTU协议
设备内部温度反馈 设备导热介质出口温度、介质进口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有)
密闭循环系统 整个系统为全密闭系统,低温不吸收空气中水份,不挥发导热介质,低温自动补充导热介质进入循环系统
压缩机 艾默生谷轮/丹佛斯涡旋柔性压缩机
循环泵 德国品牌磁力循环泵
蒸发器 采用丹佛斯/高力板式换热器
冷凝器 微通道冷凝器(风冷)
板式换热器(水冷),特别注意:需要使用清洁厂务水
制冷附件 丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀)
操作面板 无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示\EXCEL 数据导出
安全防护 具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
进出接口尺寸 G3/4

 

分类信息

Category:

详细参数

最高工作温度

80℃

最低工作温度

-60℃

控温模式

导热油温度控制

控温精度

±0.1℃

售后服务

质量保证

保证销售的货物符合合同规定,出厂检验合格的新产品、质量性能、技术指标和配置符合合同规定的制造商和技术文件。

安装调试

货物到货后,我公司或我公司代理负责安装调试需要现场安装调试的设备。

验收

安装调试完成后,经客户验收,确认货物符合合同规定,合格的新产品、质量性能、技术指标和配置符合合同规定的厂家和技术文件,并在全套技术文件确认后,签署安装验收报告并确认验收。

训练

在设备安装调试的同时,我公司的售后服务工程师负责对用户进行技术培训,直至用户熟练操作。在客户使用设备的过程中,客户可随时向我公司售后服务人员咨询相关技术问题,我公司将根据情况安排现场或远程培训。

售后服务承诺

自验收之日起一年的完全免费保修,在保修期内,所有维修和备件均免费(因人为因素导致的设备故障将从备件成本价中收取费用);保修期结束后,我们将负责设备的终身维护,根据实际维护费用收取相应费用。

(注:如果客户需要现场服务,将收取额外费用。客户需要先描述问题,然后提前发送一些失败的图片或视频,然后无锡冠亚恒温制冷技术有限公司判断是否可以在现场进行售后服务。)

国内外展览

LNEYA每年都会参加各种国内外展览。在展览中,我们展示了LNEYA最新的研究设备。每年,长期合作的客户都会前来参展,与我们交流。我们还积极开发新客户,为他们提供高质量的机器和服务。

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