400-100-3173

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半导体控温装置

半导体控温装置

气体控温系统 5166

半导体温控装置

主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制40°C以内,加热方式采用压缩机热气加热

循环系统采用全密闭设计,循环泵采用磁力驱动泵

氨检测,安规检测,确保系统安全可靠性

经过24小时连续运行拷机

型号FLT-002

FLT-002W

FLT-003

FLT-003W

FLT-004

FLT-004W

FLT-006

FLT-006W

FLT-008

FLT-008W

FLT-010

FLT-010W

FLT-015

FLT-015W

温度范围5℃~40℃
控温精度±0.1℃
流量控制10~25L/min  5bar max15~45L/min  6bar max25~75L/min  6bar max
制冷量@10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
内循环液容积4L5L6L8L10L12L20L
膨胀罐容积10L10L15L15L20L25L35L
制冷剂R410A
载冷剂硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  (DI温度需要控制10℃以上)
进出接口G1/2G1/2G3/4G3/4G3/4G1G1
冷却水口G1/2G1/2G3/4G1G1G1G1 1/8
冷却水流量@20℃1.5m³/h2m³/h2.5m³/h4m³/h4.5m³/h5.6m³/h9m³/h
电源380V3.5kW4kW5.5kW7kW9.5kW12kW16kW
温度扩展通过增加电加热器,扩展-25℃~80℃

 

型号FLT-202

FLT-202W

FLT-203

FLT-203W

FLT-204

FLT-204W

FLT-206

FLT-206W

FLT-208

FLT-208W

FLT-210

FLT-210W

FLT-215

FLT-215W

温度范围-25℃~40℃
控温精度±0.1℃
流量控制10~25L/min ±0.315~45L/min ±0.325~75L/min ±0.3
流量控制采用变频器调节,循环泵zui大压力5bar
制冷量

@-15℃

2kw3kw3.8kw6kw7.6kw10kw15kw
内循环液容积4L5L6L8L10L12L20L
膨胀罐容积10L10L15L15L20L25L35L
制冷剂R404A
载冷剂硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
进出接口G1/2G1/2G3/4G3/4G3/4G1G1
冷却水接口G1/2G1/2G3/4G3/4G1G1G1 1/8
冷却水流量@20℃1.2m³/H1.6m³/H2.6m³/H3.6m³/H5.5m³/H7m³/H10.2m³/H
电源380V3KW4KW6KW8KW9KW13KW17KW
温度扩展通过增加电加热器,扩展-25℃~80℃

 

型号FLT-402

FLT-402W

FLT-403

FLT-403W

FLT-404

FLT-404W

FLT-406

FLT-406W

FLT-408

FLT-408W

FLT-410

FLT-410W

FLT-415

FLT-415W

温度范围-45℃~40℃
控温精度±0.1℃
流量10~25L/min  5bar max15~45L/min 6bar max25~75L/min 6bar max
制热采用压缩机制热,防止冷凝器结霜技术
制冷量

@-35℃

1kw1.4kw1.8kw2.5kw3.3kw5kw8kw
内循环液容积4L5L6L8L10L12L20L
膨胀罐容积10L10L15L15L20L25L35L
制冷剂R404A
载冷剂硅油、氟化液、乙醇水溶液等
进出接口尺寸G1/2G1/2G3/4G3/4G3/4G1G3/4
冷却水接口G1/2G3/4G3/4G1G1G1G1 1/8
冷却水流量@20℃1.5m³/H2.4m³/H3.5m³/H5m³/H5.5m³/H6m³/H8m³/H
电源380V3KW4KW6KW7.5KW9KW12KW15KW
温度扩展通过增加电加热器,扩展-25℃~80℃

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