LTS -60℃~80℃
广泛运用在半导体制程中对反应腔室控温、热沉板控温及需要传热介质 不可燃流体控温场所,适用于半导体芯片制造、芯片器件、航空电子设 备中的制冷加热温度控制。
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生产车间面积超1.2万㎡,2021年销售额突破3亿元,在职员工近300人。
型号 | LTS-602 | LTS-603 | LTS-604 | LTS-606 | LTS-608 |
LTS-602W | LTS-603W | LTS-604W | LTS-606W | LTS-608W | |
温度范围 | -60℃~80℃ | ||||
控温精度 | ±0.1℃ -60℃~-30℃ | ||||
流量控制 | 7~25L/min | 12~45L/min | |||
流量控制采用变频器调节,循环泵最大压力5bar | |||||
内循环液容积 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
膨胀罐容积 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
系统压力显示 | 制冷系统压力、循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上 | ||||
控制器 | PLC控制器,模糊PID控制算法,具备串级控制算法 | ||||
温度控制 | 导热介质出口温度控制模式 | ||||
外接温度传感器:(PT100或4~20mA或通信给定)控制模式(串级控制) | |||||
通信协议 | 以太网接口TCP/IP协议 | ||||
RS485接口 modbus RTU协议 | |||||
设备内部温度反馈 | 设备导热介质出口温度、介质进口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有) | ||||
密闭循环系统 | 整个系统为全密闭系统,低温不吸收空气中水份,不挥发导热介质,低温自动补充导热介质进入循环系统 | ||||
压缩机 | 艾默生谷轮/丹佛斯涡旋柔性压缩机 | ||||
循环泵 | 磁力循环泵 | ||||
蒸发器 | 板式换热器 | ||||
冷凝器 | 铜管铝翅片冷凝器 | ||||
板式换热器(水冷),特别注意:需要使用清洁厂务水 | |||||
制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器) | ||||
操作面板 | 无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示\EXCEL 数据导出 | ||||
安全防护 | 具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。 | ||||
外壳材质 | 冷轧板喷塑 (标准颜色7035) |
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