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LTS -80℃~80℃

LTS -80℃~80℃

广泛运用在半导体制程中对反应腔室控温、热沉板控温及需要传热介质 不可燃流体控温场所,适用于半导体芯片制造、芯片器件、航空电子设 备中的制冷加热温度控制。

厂家实力视频:

生产车间面积超1.2万㎡,2021年销售额突破3亿元,在职员工近300人。

应用行业

无锡冠亚氟化液制冷加热控温系统广泛运用在半导体制程中对反应腔室控温、热沉板控温及需要传热截止不可燃流体控温场所,适用于半导体芯片制造流程、功率器件、航空电子设备中的制冷加热温度控制。

产品不仅能在众多传热应用中提供较好性能,而且不会对人身安全和环境可持续性产生负面影响。氟化液制冷加热控温是使用不可燃的绝缘液体氟化液,具有工作温度范围宽泛,易于维护等特点,是传统冷却液体(如水、水乙二醇或油)的理想替代品。氟化液制冷加热控温系统用途广泛,从半导体制程过程冷却,再到对航空航天电子设备的冷却都有应用。

结构原理

控温系统结构设计原理和功能优势 采用全密闭管道式设计,降低导热液需求量的同时,提高系统的热量利 用率,达到快速升降温度。

氟化液具有低毒性、不可燃,属于一种不会影响环境的可持续性发展的 高性能产品,可使温室气体排放量减少。同时针对氟化液易挥发特点, 加强接头设计、系统密封设计,确保介质使用寿命。

型号 LTS-802 LTS-803 LTS-804 LTS-806 LTS-808
LTS-802W LTS-803W LTS-804W LTS-806W LTS-808W
温度范围   -80℃~80℃
控温精度 ±0.1℃  -80℃~-50℃
流量控制 7~25L/min 12~45L/min
流量控制采用变频器调节,循环泵最大压力5bar
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L
系统压力显示 制冷系统压力、循环系统压力采集出口位置采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器 PLC控制器,模糊PID控制算法,具备串级控制算法
温度控制 导热介质出口温度控制模式
外接温度传感器:(PT100或4~20mA或通信给定)控制模式(串级控制)
通信协议 以太网接口TCP/IP协议
RS485接口 modbus RTU协议
设备内部温度反馈 设备导热介质出口温度、介质进口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有)
密闭循环系统 整个系统为全密闭系统,低温不吸收空气中水份,不挥发导热介质,低温自动补充导热介质进入循环系统
压缩机 艾默生谷轮/丹佛斯涡旋柔性压缩机
节流方式 电子膨胀阀
循环泵 磁力循环泵
蒸发器 板式换热器
冷凝器 铜管铝翅片冷凝器
板式换热器(水冷),特别注意:需要使用清洁厂务水
制冷附件 丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器)
操作面板 无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示\EXCEL 数据导出
安全防护 具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
进出接口尺寸 G1/2 G1/2 G3/4 G3/4 G3/4

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