光刻机/封装产线双场景Chiller适配薄膜沉积等核心设备
204在光刻机与封装产线双场景下Chiller(温控设备)需同时满足光刻工艺温控和封装可靠性测试热管理的严苛需求,尤其在薄膜沉积等核心设备中,其技术适配性体现在以下维度: 一、双场景技术适配Chiller 1、光刻机场景...
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查看全文半导体测试是确保芯片性能与可靠性的关键环节。随着芯片集成度的不断提高,测试工艺对温度控制的要求愈发严苛。无锡冠亚温控设备为测试工艺提供了可靠支持。本文将详细介绍其应用场景与技术优势,并探讨其如何助...
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查看全文冠亚恒温介绍什么是半导体chiller深冷机? Chiller 英文有恐怖的意思,但在芯片制造中指的是制冷控制设备。Chiller 是集成电路制造中用于温度控制的系统,主要是在DRY ETCH ,CVD,CMP 和 RTP 的工艺中控制硅片托盘...
查看全文在半导体行业的存储芯片封装厂中,半导体行业控温用chiller的应用对于确保封装过程的质量和效率影响比较大。以下是一些具体的应用案例: 案例一:芯片固化过程的温度控制 应用描述: 在存储芯片封装过程中, 通...
查看全文在薄膜沉积工艺中,Chiller(冷却机)的应用影响比较大,因为准确的温度控制可以确保薄膜的质量和均匀性。以下是一些薄膜沉积工艺中Chiller的应用案例: 案例一:物理气相沉积(PVD)工艺冷却 应用描述:在...
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