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半导体 chiller 不同工况下泄压阀需要多久校验一次?

分类:行业新闻 1

泄压阀属于循环回路安全部件,系统压力超限时完成介质泄压,保护换热器、缓冲罐、管路不受超压破坏。校验周期不是固定不变,会受设备运行工况、介质类型、拆装频次影响。除了周期校验,发生特定事件之后,需要额外开展临时校验。本文梳理不同工况泄压阀校验周期参考,以及触发临时校验的场景。

一、泄压阀校验周期参考对照表

设备运行工况参考校验周期补充说明
量产 24h 不间断裸片测试设备每 12 个月介质洁净度要求高,拆装频次相对多
量产封装成品芯片测试设备每 18 个月工况相对平稳,拆装频次偏低
实验室间歇使用芯片测试设备每 24 个月每次重大拆装之后追加临时校验

二、触发临时校验的场景

除按照周期开展校验,出现下面事件,不受周期约束,需要及时对泄压阀做校验: 1、循环管路做过大修拆装,泄压阀被拆卸过; 2、系统曾经发生过超压、泄压阀出现过溢流动作; 3、完成介质整体更换作业; 4、缓冲罐、换热器等核心部件更换。

拆装拆卸会改变泄压阀装配状态;发生过泄压溢流,阀座有可能被杂质卡滞,密封性能发生变化,需要重新校验开启压力。

三、泄压阀校验作业要点

校验作业在设备停机泄压的条件下开展,对照设备说明书,校验泄压阀实际开启压力。确认开启压力处在规定区间,同时检查阀座关闭密封性,确认无内漏溢流。 校验不达标,优先排查阀座有无杂质卡滞;杂质清理之后依旧不达标,直接更换泄压阀组件,不继续带病投入运行。 校验完成,把开启压力、校验时间记录进设备台账。

四、运维提示

日常巡检也要留意泄压阀出口,观察有无介质溢流痕迹,作为周期校验之外的状态监控手段。巡检看到溢流痕迹,不等校验周期到达,就要开展检查校验。

总结

半导体 chiller 泄压阀校验周期,量产裸片设备参考 12 个月,封装量产参考 18 个月,实验室间歇设备参考 24 个月。设备拆装大修、发生泄压溢流等事件要追加临时校验;校验记录完整归档,巡检留意有无溢流痕迹。

FAQ

Q:泄压阀从来没有动作过,还需要按期校验吗?

A:内部密封件会随时间、介质浸泡发生性能变化,即使没有动作也要按期校验。

Q:巡检看到泄压阀有溢流痕迹,直接等到周期校验可以吗?

A:出现溢流痕迹代表存在异常,要提前做校验,不要等待预设周期。

Q:校验发现开启压力偏移,可以现场直接大幅度拧调吗?

A:按照设备说明书允许范围微调,超出调整范围直接更换阀件。

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