KSD 全系列接触式设备安装布局需要结合设备外形、通风散热、管路布线、操作空间、产线动线综合规划。本文从场地测量、摆放位置、管路走向、电气接线、检修预留空间给出完整安装规范。

一、确认控温配套场地条件
| 场地类型 | 布局重点参考 |
| 半导体洁净实验室 | 靠墙、顶部预留排风空间 |
| 量产芯片产线工位 | 产线侧边嵌入式摆放 |
| 狭小研发操作台 | 小型 705 机型台面落地布置 |
| 多设备集中测试区 | 多台并列通风间距预留 |
二、确认应用工艺流程
实验室设备多为独立单机摆放,预留前后操作空间;量产产线设备贴合测试工装侧边布置,缩短样品取放动线;多台集中测试区域设备之间预留通风检修间距,避免散热互相干扰;洁净车间优先背部、顶部排风,不占用侧面操作通道。
三、核对核心安装参数
- 各机型整机长宽高外形尺寸;
- 设备顶部、背部通风预留距离;
- 干燥气 CDA 管路接口高度;
- 供电电缆布线空间;
- 正面触摸屏操作预留区域。
四、匹配对应机型布局方案
| 机型 | 布局方式 |
| KSD-705-A/B | 台面落地、靠墙单侧摆放 |
| KSD-710 | 地面独立放置,前后预留检修通道 |
五、布局安装注意事项
- 设备通风面禁止堆放纸箱、工装遮挡;
- CDA 干燥气管路缩短长度,减少压力损耗; 3 产线嵌入式安装预留正面开门检修空间;
- 多台并列设备间距大于 30cm,保障散热。

六、常见问题 FAQ
- 设备可以完全紧贴墙面安装吗? 背部需要预留通风空间,不可完全贴死墙体。
- 洁净室安装需要外接排风管道吗? 高温工况建议对接排风,降低室内温升。
- 小型 705 机型可以放置实验台上方吗? 确认台面承重达标后可台面摆放。
安装位置距离测试工装太远有影响吗? 加长管路会增加介质温变损耗,尽量缩短管路。
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