KSD/KSDR 全系列接触冷热机产品综述

KSD 常规冷媒、KSDR 环保 R74 冷媒两大接触式冷热机系列，包含 705-A、705-B、710 三款基础机型，依靠统一宽温区、温控精度，区分速率、载台尺寸、冷媒类型适配不同半导体工况，本文完整梳理全系列机型划分、核心配置、适用场景。

一、确认控温对象

二、确认应用工艺流程

全系列统一覆盖芯片研发、失效分析、车规冲击、晶圆循环、元器件老化；差异点集中在升降速率、载台大小、冷媒环保属性，可根据产线环保要求、样品尺寸、实验节拍自由选型。

三、核对核心技术参数

1. 通用标准：-75℃~+200℃、±0.2℃稳态精度；
2. KSD-705-A：高 50℃/min，75mm 载台；
3. KSD/KSDR-705-B：高 75℃/min，75mm 载台；
4. KSD/KSDR-710：高 75℃/min，120mm 大载台；
5. KSD 传统冷媒，KSDR 为 R744 低 GWP 环保冷媒。

四、匹配对应机型

五、系列选型注意事项

1. 有温度冲击测试需求不可选用 705-A；
2. 出口厂区统一选用 KSDR 环保系列；
3. 整片晶圆测试只能选择 710 大载台机型；
4. 同尺寸 KSD 与 KS 操作界面、工艺程序通用。

六、常见问题 FAQ

1. 两大系列配件能否互通使用？ 载台、测温探头、气动配件全部通用。
2. 705-A 后期能否升级 75℃/min 速率？ 硬件功率固定，无法后期升级。
3. KSDR 冷媒能否替换为传统制冷剂？ 冷媒回路专用，不可混用。
4. 同型号两款系列制冷量指标一致吗？ 同规格冷量、升温性能参数完全相同。