半导体控温装置
制冷加热控温系统(气体)
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半导体温控装置
主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制40°C以内,加热方式采用压缩机热气加热
循环系统采用全密闭设计,循环泵采用磁力驱动泵
氨检测,安规检测,确保系统安全可靠性
经过24小时连续运行拷机
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半导体温控装置
主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制40°C以内,加热方式采用压缩机热气加热
循环系统采用全密闭设计,循环泵采用磁力驱动泵
氨检测,安规检测,确保系统安全可靠性
经过24小时连续运行拷机
型号 | FLT-002
FLT-002W |
FLT-003
FLT-003W |
FLT-004
FLT-004W |
FLT-006
FLT-006W |
FLT-008
FLT-008W |
FLT-010
FLT-010W |
FLT-015
FLT-015W |
温度范围 | 5℃~40℃ | ||||||
控温精度 | ±0.1℃ | ||||||
流量控制 | 10~25L/min 5bar max | 15~45L/min 6bar max | 25~75L/min 6bar max | ||||
制冷量@10℃ | 6kw | 8kw | 10kw | 15 kw | 20kw | 25kw | 40kw |
内循环液容积 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
膨胀罐容积 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
制冷剂 | R410A | ||||||
载冷剂 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等 (DI温度需要控制10℃以上) | ||||||
进出接口 | G1/2 | G1/2 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | G1 | G1 |
冷却水口 | G1/2 | G1/2 | G3/4 | G1 | G1 | G1 | G1 1/8 |
冷却水流量@20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5.6m³/h | 9m³/h |
电源380V | 3.5kW | 4kW | 5.5kW | 7kW | 9.5kW | 12kW | 16kW |
温度扩展 | 通过增加电加热器,扩展-25℃~80℃ |
型号 | FLT-202
FLT-202W |
FLT-203
FLT-203W |
FLT-204
FLT-204W |
FLT-206
FLT-206W |
FLT-208
FLT-208W |
FLT-210
FLT-210W |
FLT-215
FLT-215W |
温度范围 | -25℃~40℃ | ||||||
控温精度 | ±0.1℃ | ||||||
流量控制 | 10~25L/min ±0.3 | 15~45L/min ±0.3 | 25~75L/min ±0.3 | ||||
流量控制采用变频器调节,循环泵zui大压力5bar | |||||||
制冷量
@-15℃ |
2kw | 3kw | 3.8kw | 6kw | 7.6kw | 10kw | 15kw |
内循环液容积 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
膨胀罐容积 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
制冷剂 | R404A | ||||||
载冷剂 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等 | ||||||
进出接口 | G1/2 | G1/2 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | G1 | G1 |
冷却水接口 | G1/2 | G1/2 | G3/4 | G3/4 | G1 | G1 | G1 1/8 |
冷却水流量@20℃ | 1.2m³/H | 1.6m³/H | 2.6m³/H | 3.6m³/H | 5.5m³/H | 7m³/H | 10.2m³/H |
电源380V | 3KW | 4KW | 6KW | 8KW | 9KW | 13KW | 17KW |
温度扩展 | 通过增加电加热器,扩展-25℃~80℃ |
型号 | FLT-402
FLT-402W |
FLT-403
FLT-403W |
FLT-404
FLT-404W |
FLT-406
FLT-406W |
FLT-408
FLT-408W |
FLT-410
FLT-410W |
FLT-415
FLT-415W |
温度范围 | -45℃~40℃ | ||||||
控温精度 | ±0.1℃ | ||||||
流量 | 10~25L/min 5bar max | 15~45L/min 6bar max | 25~75L/min 6bar max | ||||
制热 | 采用压缩机制热,防止冷凝器结霜技术 | ||||||
制冷量
@-35℃ |
1kw | 1.4kw | 1.8kw | 2.5kw | 3.3kw | 5kw | 8kw |
内循环液容积 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
膨胀罐容积 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
制冷剂 | R404A | ||||||
载冷剂 | 硅油、氟化液、乙醇水溶液等 | ||||||
进出接口尺寸 | G1/2 | G1/2 | G3/4 | G3/4 | G3/4 | G1 | G3/4 |
冷却水接口 | G1/2 | G3/4 | G3/4 | G1 | G1 | G1 | G1 1/8 |
冷却水流量@20℃ | 1.5m³/H | 2.4m³/H | 3.5m³/H | 5m³/H | 5.5m³/H | 6m³/H | 8m³/H |
电源380V | 3KW | 4KW | 6KW | 7.5KW | 9KW | 12KW | 15KW |
温度扩展 | 通过增加电加热器,扩展-25℃~80℃ |
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