半导体高精准温度控制装置

半导体高精准温度控制装置（支持非标定制）

 

半导体投入大，制造工序多，为了提高产品的良品率、确保收益，需要在半导体的每个环节进行质量把控，影响产品质量的其中一个重要因素就是温度，温度的稳定性及精准度非常重要，为获得稳定可靠的产品保驾护航。

冠亚循环冷却器和水- 水热交换器为从前端到后端的整体半导体工艺流程提供支持。通过拥有超过16年的温度控制经验以及与各大zhi名主设备机台直接配套经验，我们为半导体客户提供标准产品及用户定制产品、温度控制技术的专业知识以及全球化服务，有助于满足您从铸锭到测试的半导体工艺流程中苛刻的温度要求。

——————————————————————————————————————————————————

半导体工艺过程 chiller 

控温范围：-45°C ~ +40°C

特点：40°C以内加热方式采用压缩机热气加热全密闭设计,经过24小时连续运行拷机

应用：半导体生产过程及测试环节温度控制，保障从前端到后端的整体半导体工艺流程稳定可靠

 

型号	FLT-002	FLT-003	FLT-004	FLT-006	FLT-008	FLT-010	FLT-015
	FLT-002W	FLT-003W	FLT-004W	FLT-006W	FLT-008W	FLT-010W	FLT-015W
温度范围	5℃～40℃

 

型号	FLT-202	FLT-203	FLT-204	FLT-206	FLT-208	FLT-210	FLT-215
	FLT-202W	FLT-203W	FLT-204W	FLT-206W	FLT-208W	FLT-210W	FLT-215W
温度范围	-25℃～40℃

 

型号	FLT-402	FLT-403	FLT-404	FLT-406	FLT-408	FLT-410	FLT-415
	FLT-402W	FLT-403W	FLT-404W	FLT-406W	FLT-408W	FLT-410W	FLT-415W
温度范围	-45℃～40℃

---

半导体chiller 双变频

控温范围：-30°C ~ +40°C

特点：控温精度可达±0.1°C

应用：半导体生产过程及测试环节温度控制，保障从前端到后端的整体半导体工艺流程稳定可靠

 

型号	FLTZ-305W	FLTZ-305W/2T  双系统
温度范围	-30℃~40℃	-30℃~40℃

---

半导体chiller 低温复叠制冷

控温范围：-100°C ~ +80°C

特点：控温精度可达±0.1°C

应用：半导体生产过程及测试环节温度控制，保障从前端到后端的整体半导体工艺流程稳定可靠

 

型号	FLT-803W	FLT-805W	FLT-806W	FLT-808W	FLT-810W	FLT-1002W	FLT-1004W
温度范围	-80℃～+80℃					-100℃～+80℃

---

半导体chiller 换热型系统无压缩机

控温范围：+5°C ~ +90°C

特点：控温精度可达±0.3°C

应用：半导体生产过程及测试环节温度控制，保障从前端到后端的整体半导体工艺流程稳定可靠

 

型号	ETCU-005W	ETCU-008W	ETCU-015W	ETCU-030W
温度范围	冷却水温度 +5℃~90℃

---

chiller 直冷型

控温范围：-150℃～-110℃

特点：控温精度可达±0.5°C

应用：半导体生产过程及测试环节温度控制，保障从前端到后端的整体半导体工艺流程稳定可靠

 

型号	ZLJ-41.0	ZLJ-41.5	ZLJ-42	ZLJ-43	ZLJ-44	ZLJ-46	ZLJ-48
	ZLJ-41.0W	ZLJ-41.5W	ZLJ-42W	ZLJ-43W	ZLJ-44W	ZLJ-46W	ZLJ-48W
温度范围	-40℃～-15℃

 

型号	ZLJ-81.0	ZLJ-81.5	ZLJ-82	ZLJ-83	ZLJ-84	ZLJ-86	ZLJ-88
	ZLJ-81.0W	ZLJ-81.5W	ZLJ-82W	ZLJ-83W	ZLJ-84W	ZLJ-86W	ZLJ-88W
温度范围	-80℃～-50℃

 

型号	SLJ-3W	SLJ-4W	SLJ-6W	SLJ-11W
温度范围	-150℃～-110℃

无锡冠亚恒温制冷提供7*24的免费咨询，您只需要提供自己控温需求，由我们给你提供全面的解决方案！

联系我们：400-100-3173